功能特点

1.光机电一体化设计，外形结构简单；

2.扫描探头和样品台集成一体，抗干扰能力强；

3.精密激光检测及探针定位装置，光斑调节简单，操作方便；

4.采用精密探针定位模块，更换探针简单方便

5.采用样品趋近探针方式，使针尖垂直于样品扫描；

6.伺服马达手动或自动脉冲控制，驱动样品垂直接近探针，实现扫描区域精确定位；

7.高精度大范围的样品移动装置，可自由移动感兴趣的样品扫描区域；

8.高精度大范围的压电陶瓷扫描器，根据不同精度和扫描范围要求选择；

9.带光学定位的CCD观察系统，实时观测与定位探针扫描样品区域

10.模块化的电子控制系统设计，便于电路的持续改进与维护；

11.集成多种扫描工作模式控制电路，配合软件系统使用。

12.弹簧悬挂式防震方式，简单实用，抗干扰能力强

操作功能

1. 可自由选择图像采样点为256×256或512×512

2. 多通道图像同步采集显示，实时查看剖面图

3. 可进行扫描区域偏移、剪切功能，任意选择感兴趣的样品区域

4. 可任意选择样品起始扫描角度

5. 激光光斑检测系统的实时调整功能

6. 可任意定义扫描图像的色板功能

7. 支持样品倾斜线平均、偏置实时校正功能

8. 支持扫描器灵敏度校正和电子学控制器自动校正

9. 支持样品图片离线分析与处理功能

技术规格