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本产品是一款集光、机、电于一体的高精度扫描探针显微镜系统，采用一体化设计，结构紧凑，具备出色的抗干扰能力。系统集成扫描探头与样品台，结合精密激光检测与探针定位装置，确保操作便捷性和成像稳定性，适用于多种表面形貌分析需求。
功能特点突出模块化设计与高精度控制，支持多种扫描模式和多通道图像同步采集。配备伺服马达驱动的自动趋近机制与高精度压电陶瓷扫描器，实现样品区域的精确定位与大范围移动。系统搭载带光学定位的CCD观察系统，可实时观测探针扫描区域，提升实验效率与准确性。
✓ 光机电一体化设计：结构简单紧凑，集成度高，抗干扰能力强。
✓ 高精度扫描性能：横向分辨率0.2nm，纵向分辨率0.05nm，支持大范围扫描与精确定位。
✓ 多模式扫描支持：兼容接触、轻敲、相位、摩擦力、磁力及静电力等多种工作模式。
✓ 模块化电子控制系统：便于维护升级，支持多种扫描模式电路集成。
✓ 实时图像处理功能：支持多通道同步采集、剖面图查看、色板定义与离线分析。
✓ 弹簧悬挂式防震设计：结构简单实用，有效提升系统稳定性。
1. 光机电一体化与抗干扰设计
采用集成式扫描探头与样品台结构，减少外部干扰影响，提升系统稳定性。弹簧悬挂式防震方式进一步增强设备在复杂环境下的运行可靠性。
2. 精密探针定位与更换机制
配备精密激光检测与探针定位装置，光斑调节简便；采用模块化探针定位模块，更换探针快速方便，降低使用维护成本。
3. 样品趋近与扫描控制技术
通过伺服马达实现手动或自动脉冲控制，驱动样品垂直接近探针，确保针尖垂直于样品表面，提高扫描精度与安全性。
4. 大范围高精度移动装置
高精度样品移动装置可在0～20mm范围内自由移动样品，配合大范围压电陶瓷扫描器（横向20μm，纵向2μm），灵活选择扫描区域。
5. CCD光学观测与定位系统
集成带光学定位的CCD观察系统，放大倍数4X，光学分辨率2.5μm，可实时观测并精确定位探针扫描区域。
6. 多功能图像采集与处理能力
支持256×256或512×512图像采样点选择，具备扫描偏移、剪切、角度设定、色板自定义等功能，并支持倾斜校正与离线图像分析。
7. 智能反馈与校正系统
采用DSP数字反馈方式，反馈采样速率达64.0KHz；支持扫描器灵敏度校正与电子学控制器自动校正，保障数据准确性。
| 名 称 | 参 数 | 名 称 | 参 数 |
|---|---|---|---|
| 工作模式 | 1. 接触、轻敲、相位、摩擦力、磁力或静电力 |
扫描角度 | 任意 |
| 样品尺寸 | Φ≤90mm；H≤20mm | 样品移动范围 | 0～20mm |
| 最大扫描范围 | 横向20um，纵向2um | 马达趋近脉冲宽度 | 10±2m |
| 扫描分辨率 | 横向0.2nm，纵向0.05nm | 光学放大倍数 | 4X |
| 扫描速率 | 0.6Hz~4.34Hz | 光学分辨率 | 2.5um |
| 扫描控制 | XY采用18-bit D/A Z采用16-bit D/A |
图像采样点 | 256×256，512×512 |
| 数据采样 | 14-bit A/D、双16-bit A/D 多路同步采样 |
反馈方式 | DSP数字反馈 |
| 计算机接口 | USB2.0 | 反馈采样速率 | 64.0KHz |
| 运行环境 | 运行于WindowsXP/7/8操作系统 |
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适用领域：材料科学、纳米科技、生物医学研究、半导体检测、表面物理与化学分析等。
操作功能说明：
- 可自由选择图像采样点为256×256或512×512
- 多通道图像同步采集显示，实时查看剖面图
- 可进行扫描区域偏移、剪切功能，任意选择感兴趣的样品区域
- 可任意选择样品起始扫描角度
- 激光光斑检测系统的实时调整功能
- 可任意定义扫描图像的色板功能
- 支持样品倾斜线平均、偏置实时校正功能
- 支持扫描器灵敏度校正和电子学控制器自动校正
- 支持样品图片离线分析与处理功能
A：支持接触、轻敲、相位、摩擦力、磁力或静电力等多种扫描工作模式。
A：最大扫描范围为横向20um，纵向2um。
A：可选择256×256或512×512两种图像采样点设置。
A：横向分辨率为0.2nm，纵向分辨率为0.05nm。
A：运行于WindowsXP/7/8操作系统。
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