BM-SG12BD(明/暗场)高级透反射显微镜是一款专为半导体工业、硅片制造业、电子信息产业、冶金工业等高精度检测需求设计的高性能光学仪器。该型号结合先进的透射与反射照明技术,适用于多种材料和工业领域的微观分析。
本显微镜支持明场、暗场、DIC及偏光观察模式,配备高品质无限远光学系统,成像清晰、衬度优异。符合人机工程学的30º铰链式三目镜筒设计,提升操作舒适性,同时支持连接数码摄像装置,便于图像记录与分析。广泛应用于油脂、FPD、电路封装、电路基板、金属铸件、陶瓷部件及精密模具的质量检测。
✓ 多模式观察:支持明场、暗场、DIC和偏光观察,满足多样化检测需求。
✓ 高清成像:采用无限远平场物镜与超宽视场目镜,成像清晰、视野广阔。
✓ 双照明系统:集成透射与落射照明,均使用12V50W卤素灯,亮度连续可调。
✓ 灵活扩展:三目镜筒可连接摄像设备,便于图像采集与共享。
✓ 精准调焦:粗微动同轴调焦机构,微动格值达0.002mm,定位精确。
1. 多功能观察模式
支持明场、暗场、DIC和偏光观察,适用于不同样品类型的表面与内部结构分析,尤其适合半导体、FPD和精密模具检测。
2. 透反射双照明系统
透射照明采用科勒照明方式,反射照明具备孔径与视场光阑调节功能,确保光照均匀、对比度高,适应各种观察条件。
3. 无限远光学系统
配备超长工作距离平场无限远物镜,机械筒长为∞,镜筒透镜f=200mm,保证全视野成像平坦清晰。
4. 人性化三目镜筒
30º倾斜铰链式三目镜筒,可自由调节角度,减轻长时间观察疲劳,并支持外接成像设备。
5. 精密载物与调焦装置
双层移动平台(189mm×160mm),移动范围80mm×50mm;粗微动同轴调焦,微动精度0.002mm,实现精准对焦。
| 类别 | 放大倍数 | 目视场直径(mm) | 备注 |
|---|---|---|---|
| 超宽视场平场目镜 | 10X | Φ25 | |
| 十字分划目镜 | 10X | Φ20 | 0.1mm十字分划板 |
| 类别 | 放大倍数 | 数值孔径(NA) | 系统 | 工作距离(mm) |
|---|---|---|---|---|
| 超长工作距离 平场无限远 明/暗场物镜 |
5X | 0.10 | 干 | 29.4 |
| 10X | 0.25 | 16.0 | ||
| 20X | 0.40 | 10.5 | ||
| 50X | 0.55 | 5.1 |
| 物镜 | 目镜 | 镜筒系数 | 总放大倍数 |
|---|---|---|---|
| 5X | 10X | 1X | 50X |
| 10X | 100X | ||
| 20X | 200X | ||
| 50X | 500X |
适用领域:半导体工业、硅片制造、电子信息产业、冶金工业、FPD显示面板、电路封装、电路基板、材料科学、铸件/金属/陶瓷部件、精密模具、油脂分析等。
观察镜筒:30º铰链式三目镜筒,支持连接摄像数码装置。
机械筒长:无限远系统∞
镜筒透镜:f=200mm
物镜转换器:带DIC插孔的大四孔转换器
瞳距调节:50mm-75mm
载物台:双层移动平台,平台尺寸:189mm×160mm,移动范围:80mm×50mm
滤色片:绿、蓝、中性
聚光镜:N.A=1.25阿贝聚光镜,带可变孔径光阑和滤色片
调焦装置:粗微动同轴调焦,微动格值0.002mm
偏光装置:检偏镜可360度旋转,起偏镜、检偏镜均可移出光路
检测工具:标准标尺:0.01mm测微尺
光源:
(1)透射照明:科勒照明卤素灯12V50W,宽电压AC85V—260V,亮度连续可调
(2)反射照明:卤素灯12V50W,宽电压AC85V—260V,亮度连续可调,带孔径光阑和视场光栏
A:支持明场、暗场、DIC观察和偏光观察,在落射照明下进行表面检测,在透射光下进行明场观察。
A:总放大倍数包括50X、100X、200X和500X,由5X、10X、20X、50X物镜与10X目镜组合而成。
A:采用粗微动同轴调焦装置,微动格值为0.002mm,确保精细对焦。
A:支持,配备30º铰链式三目镜筒,可连接摄像数码装置用于图像采集。
A:透射和反射照明均采用12V50W卤素灯,支持宽电压输入AC85V—260V,亮度连续可调。
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