BM-54XBD D 电脑工业检测显微镜是一款专为高精度工业检测设计的高级显微成像系统,广泛应用于半导体、硅片制造、电子信息、冶金等高端制造领域。该设备配备大行程双层移动平台、落射照明系统、平场无限远长工作距离明暗场物镜以及超大视野目镜,成像清晰、对比度优异,满足复杂工业样品的精密观察与分析需求。
本显微镜支持明场、暗场、落射偏光及DIC微分干涉等多种观察方式,兼容多种扩展功能,适用于硅片、电路基板、FPD显示面板、精密模具等关键部件的质量检测与失效分析,是工厂品控、科研机构及高等院校理想的核心检测工具。
✓ 高分辨率UIS光学系统:采用UIS高分辨率、长工作距离无限光路校正技术,确保图像清晰锐利,提升检测精度。
✓ 多模式兼容成像:支持明暗场、偏光、DIC等多种观察方法,所有模式下均提供高质量成像效果。
✓ 超大视野目镜:标配WF10X(Φ25mm)超大视野目镜,扩大观察范围,提高检测效率。
✓ 扩展性强:配置带DIC插孔的五孔转换器,可灵活加装微分干涉装置,满足高级成像需求。
✓ 精密调焦与移动平台:粗微动同轴调焦机构,微动格值达0.002mm;双层移动平台移动范围达250×250 mm,定位精准稳定。
1. UIS无限远光学系统
采用UIS高分辨率、长工作距离无限光路校正系统的物镜,实现高清晰度成像,特别适合厚样品或需要长工作距离的应用场景。
2. 多观察模式兼容性
拓展物镜复用技术,无限远物镜兼容明暗场、偏光等多种观察法,在每种模式下均保持优异图像质量,提升设备利用率。
3. 非球面Kohler照明系统
配备非球面Kohler照明,有效提升视场亮度均匀性,增强样品细节可见度,优化观察体验。
4. 超大视野目镜配置
搭载WF10X(Φ25mm)超大视野目镜和带十字分划板的10X目镜,兼顾广域观察与精确测量需求。
5. 可扩展DIC微分干涉功能
转换器预留DIC插孔,支持后续加装微分干涉装置,实现三维立体成像,适用于表面形貌精细分析。
| 类别 | 放大倍数 | 目视场直径(mm) |
|---|---|---|
| 超宽视场 平场目镜 |
10X | Φ25 |
| 目镜 (带0.1mm十字分划板) |
10X | Φ20 |
| 类别 | 放大倍数 | 数值孔径N.A(mm) | 系统 | 工作距离(mm) |
|---|---|---|---|---|
| 平场无限远 长工作距离 明暗场物镜 |
5X | 0.10 | 干 | 29.4 |
| 平场无限远 长工作距离 明暗场物镜 |
10X | 0.25 | 干 | 16.0 |
| 平场无限远 长工作距离 明暗场物镜 |
20X | 0.40 | 干 | 10.6 |
| 平场无限远 长工作距离 明暗场物镜 |
40X | 0.60 | 干 | 5.40 |
| 物镜 | 目镜 | 镜筒系数 | 总放大倍数 |
|---|---|---|---|
| 5X | 10X | 1X | 50X |
| 10X | 10X | 1X | 100X |
| 20X | 10X | 1X | 200X |
| 40X | 10X | 1X | 400X |
观察头:30°铰链式三目
转换器:带DIC 插孔明暗场五孔转换器
瞳距:50-75 mm
双层移动平台:平台尺寸:350×310 mm;移动范围:250×250 mm
滤色片:插板式滤色片(绿、蓝、中性)
调焦机构:粗微动同轴调焦,采用卤轮卤条传动机构;微动格值0.002mm
偏光装置:检偏镜可360°转动,起偏镜、检偏镜均可移出光路
检测工具:0.01 mm测微尺
光源:落射照明:带孔径光栏和视场光栏,卤素灯12V100W,AC85V-230V,亮度可调
适用领域:半导体工业、硅片制造业、电子信息产业、冶金工业、电路基板检测、FPD显示面板分析、精密模具检测等。
观察方式支持:明场、暗场、落射偏光、DIC微分干涉观察。
光学系统:平场无限远长工作距离明暗场物镜,配合非球面Kohler照明系统,提升成像亮度与均匀性。
目镜配置:WF10X(Φ25mm)超大视野目镜,另配有带0.1mm十字分划板的10X目镜,便于精确定位与测量。
转换器:五孔转换器,带DIC插孔,支持后期升级微分干涉功能。
载物台:双层机械移动平台,尺寸350×310 mm,移动范围250×250 mm,适合大尺寸样品检测。
调焦系统:粗微动同轴调焦手轮,微动格值0.002mm,确保精细聚焦。
照明系统:落射式卤素光源,12V100W,电压适配AC85V-230V,亮度连续可调,配备孔径与视场光栏。
附件配置:0.01 mm测微尺、插板式滤色片(绿、蓝、中性)、起偏镜与检偏镜组件。
A:支持明场、暗场、落射偏光以及DIC微分干涉观察,适用于多种工业检测需求。
A:使用40X物镜与10X目镜组合时,总放大倍数可达400X。
A:双层移动平台的移动范围为250×250 mm,平台尺寸为350×310 mm。
A:支持,设备配备带DIC插孔的转换器,可加装DIC装置实现微分干涉成像。
A:微动格值为0.002mm,采用粗微动同轴调焦结构,确保精细对焦精度。
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