BM-54XBD工业检测显微镜是一款专为高端工业检测设计的精密光学仪器，采用先进的UIS高分辨率、长工作距离无限光路校正系统物镜技术，具备出色的成像清晰度与对比度。该显微镜配备大移动范围载物台、落射照明系统以及平场无限远长工作距离明暗场物镜和超大视野目镜，适用于多种复杂工业场景下的微观分析任务。
本产品广泛应用于半导体工业、硅片制造、电子信息产业及冶金工业等领域，支持明场、暗场、落射偏光及DIC微分干涉观察，满足对硅片、电路基板、FPD显示面板、精密模具等高精度样品的检测需求。其模块化设计兼容多种观察方式，是工厂质检、科研机构与高等院校理想的高级工业显微解决方案。
✓ 高分辨率无限远光学系统：采用UIS高分辨率、长工作距离无限光路校正系统的物镜，实现全通道高清晰成像。
✓ 多模式观察兼容：支持明暗场、偏光、DIC微分干涉等多种观察方法，转换器带DIC插孔，灵活适配不同检测需求。
✓ 超大视野与长工作距离设计：标配WF10X(Φ25mm)超大视野目镜和平场无限远长工作距离明暗场物镜，提升操作便利性与观测效率。
✓ 精密调焦与平台控制：粗微动同轴调焦机构，微动格值达0.002mm；双层移动平台移动范围达250×250 mm，定位精准稳定。
✓ 模块化扩展性强：可选配DIC微分干涉装置，检偏镜可360°旋转，起偏镜与检偏镜均可移出光路，便于系统升级与多用途切换。
1. 先进的UIS无限远光学系统
采用UIS高分辨率、长工作距离无限光路校正系统的物镜技术，确保在各种放大倍数下均能提供高清晰、低畸变的图像质量，特别适合对细节要求极高的工业检测应用。
2. 支持多种观察方式
显微镜兼容明场、暗场、落射偏光及DIC微分干涉观察，通过带DIC插孔的五孔转换器实现快速切换，满足不同材料表面结构与内部特征的全面分析需求。
3. 超大视野目镜配置
配备WF10X(Φ25mm)超宽视场平场目镜，提供更广阔的观察区域，提高样本扫描效率，减少频繁移动载物台的操作频率。
4. 高精度调焦与载物台系统
粗微动同轴调焦机构结合卤轮卤条传动设计，运行平稳精确，微动格值为0.002mm；双层移动平台尺寸为350×310 mm，移动范围达250×250 mm，适合大尺寸工件检测。
5. 可调光源与滤色系统
落射照明系统配备孔径光栏和视场光栏，使用12V100W卤素灯，输入电压AC85V-230V，亮度连续可调，并配有绿、蓝、中性插板式滤色片，优化成像衬度。
| 类别 | 放大倍数 | 目视场直径（mm） |
|---|---|---|
| 超宽视场 平场目镜 |
10X | Φ25 |
| 目镜 (带0.1mm十字分划板） |
10X | Φ20 |
| 类别 | 放大倍数 | 数值孔径N.A(mm) | 系统 | 工作距离（mm） |
|---|---|---|---|---|
| 平场无限远 长工作距离 明暗场物镜 |
5X | 0.10 | 干 | 29.4 |
| 10X | 0.25 | 16.0 | ||
| 20X | 0.40 | 10.6 | ||
| 40X | 0.60 | 5.40 |
| 物镜 | 目镜 | 镜筒系数 | 总放大倍数 |
|---|---|---|---|
| 5X | 10X | 1X | 50X |
| 10X | 100X | ||
| 20X | 200X | ||
| 40X | 400X |
其他技术参数：
适用领域：半导体工业、硅片制造业、电子信息产业、冶金工业、工厂质检、研究机构、高等院校等。
典型应用：硅片检测、电路基板分析、FPD显示面板检查、精密模具测量等高精度工业检测任务。
观察头设计：30°铰链式三目观察头，符合人体工程学设计，便于长时间观察并支持连接摄像装置进行图像采集。
转换器配置：带DIC插孔的明暗场五孔转换器，支持快速更换物镜并可加装微分干涉模块，提升系统功能性。
调焦系统：粗微动同轴调焦机构，微动格值为0.002mm，确保精细聚焦；采用卤轮卤条传动结构，运行平稳无回程差。
照明系统：落射式柯勒照明，配备孔径光栏和视场光栏，配合12V100W卤素灯，亮度连续可调，适应不同反光特性的样品观察。
偏光组件：检偏镜支持360°旋转调节，起偏镜与检偏镜均可从光路中移出，方便在偏光与非偏光模式间切换。
标准配置清单：
WF10X(Φ25mm)超大视野目镜
带0.1mm十字分划板目镜10X(Φ20mm)
平场无限远长工作距离明暗场物镜（5X, 10X, 20X, 40X）
0.01 mm测微尺
绿、蓝、中性插板式滤色片
卤素灯12V100W
DIC微分干涉装置插槽（可选配）
A：支持明场、暗场、落射偏光以及DIC微分干涉观察，可通过带DIC插孔的五孔转换器实现多种模式切换。
A：使用40X物镜与10X目镜，在1X镜筒系数下，总放大倍数可达400X。
A：双层移动平台尺寸为350×310 mm，移动范围为250×250 mm，适合大尺寸样品检测。
A：采用落射照明系统，配备12V100W卤素灯，输入电压为AC85V-230V，亮度可调。
A：可以，显微镜配备带DIC插孔的转换器，支持选配DIC微分干涉装置以增强图像立体感。
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