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MX12R 半导体 / FPD 检查金相显微镜是一款专为高精度工业检测设计的先进光学仪器,适用于最大300mm晶圆及17英寸液晶面板的全面检查。配备4、6、8、12英寸多种转盘,灵活适配不同尺寸晶圆检测需求,广泛应用于半导体、FPD、电路封装、材料科学等领域。
该显微镜采用人机工程学优化设计,支持0-35°可调观察角度,适应不同身高用户,显著降低长时间操作带来的疲劳感。配备离合式手柄与精密导轨传动机构,平台移动更轻便顺畅,操作更高效稳定。电动式物镜转换器支持前进、后退两档切换模式,定位快速精准,重复定位精度高,大幅提升检测效率与可靠性。
✓ 多尺寸兼容:支持4、6、8、12英寸晶圆转盘,最大适配300mm晶圆与17英寸液晶面板。
✓ 人机工程学设计:0-35°可调观察角度,适应不同用户身高,减少疲劳,提升舒适性。
✓ 离合式手柄:按下离合扳手即可灵活移动平台,避免手部疲劳,提高操作效率。
✓ 电动控制系统:物镜与孔径光阑采用电动控制,按键位于正前方,触手可及,操作更精确便捷。
✓ 高稳定性结构:六端支架支撑,低重心全金属机架,具备强效防震性能,确保成像稳定。
1. 可调观察角度
支持0-35°连续调节观察角度,满足不同身高的操作者需求,优化视觉路径,减少颈部与眼部疲劳,提升长时间工作的舒适度与效率。
2. 离合式平台手柄
创新离合式设计,用户只需按下离合扳手即可自由移动载物平台,无需持续握紧手柄;释放后恢复精细调节模式,有效防止手麻现象,提升操作灵活性。
3. 精密导轨传动机构
采用高精度导轨系统,确保平台移动轻盈顺滑,运行平稳,显著增强设备的稳定性和使用寿命。
4. 电动物镜转换器
安全高效的电动切换系统,提供前进与后退两档控制,实现快速倍率切换与精确定位,重复定位精度高,机械结构延长使用寿命。
5. 前置电动控制按键
物镜与孔径光阑的电动控制按键集中布置于仪器正前方,操作直观便捷,减少手动调节步骤,提升检测工作的精确性与流畅性。
6. 多功能光学模块集成
支持明场、暗场、偏光、DIC等多种观察方式,满足复杂样品的多维度分析需求,扩展应用广度。
| 参数类别 | 技术指标 |
|---|---|
| 最大检查尺寸 | 300mm 晶圆,17英寸液晶面板 |
| 适配晶圆尺寸 | 4、6、8、12英寸 |
| 观察角度调节范围 | 0-35° |
| 平台移动方式 | 离合式手柄 + 精密导轨传动 |
| 物镜转换器类型 | 电动式,前进/后退两档切换 |
| 控制系统 | 电动控制(物镜与孔径光阑),前置按键操作 |
| 机身结构 | 全金属机架,六端支架支撑,低重心防震设计 |
| 观察功能 | 明场、暗场、偏光、DIC |
| 可选升级配置 | 可搭配宽光谱专用红外相机,升级为NIR-MX12R,支持封装芯片级晶圆内部实时成像 |
适用领域:半导体、FPD(平板显示)、电路封装、电路基板、材料科学、铸件、金属陶瓷部件、精密磨具等领域的缺陷检测与质量分析。
扩展应用:通过搭配宽光谱红外相机,可升级为NIR-MX12R,用于封装芯片级晶圆内部结构的非破坏性实时成像与观测。
防震支架设计
机身由六端支架支撑,采用低重心、高稳定性全金属机架结构,具备强效抗震功能,有效抑制外部振动干扰,确保成像清晰稳定。
电动控制系统布局
物镜与孔径光阑采用全新电动控制系统,操作按键集中布置于仪器正前方,位置合理,触手可及,简化操作流程,提升检测精度与灵活性。
多功能集成光学系统
集成明场、暗场、偏光、DIC等多种观察模式,满足多样化的样品分析需求,提升检测能力与适用范围。
红外成像升级能力
支持搭配宽光谱专用红外相机,升级为NIR-MX12R型号,实现对封装芯片级晶圆内部的穿透式实时成像与观测。
A:MX12R 支持4、6、8、12英寸晶圆,最大可适配300mm晶圆及17英寸液晶面板的检查。
A:是的,MX12R 集成了明场、暗场、偏光、DIC等多种观察功能,满足多样化检测需求。
A:支持0-35°连续可调观察角度,适应不同身高用户,提升操作舒适性。
A:采用离合式手柄设计,按下离合扳手即可灵活移动平台,无需长时间捏紧手柄,避免手麻,提升操作效率。
A:可以,MX12R 可搭配宽光谱专用红外相机,升级为NIR-MX12R,实现对封装芯片级晶圆内部的实时成像与观测。








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