发现隐藏细节：

快速呈现结构和缺陷

检测并分析样本上的各种结构和缺陷，如划痕和污染。有一系列照明和对比方法可供选择，如明场、暗场、偏振光、微分干涉相差 (DIC)、荧光 (Fluo) 和红外 (IR)，帮助您快速可靠地进行检测。利用紫外光照明模式提高分辨率。

利用倾斜照明获得更多表面信息。结合紫外光照明模式进一步增强了对比度。

用不同的照明和对比方法采集的晶圆表面图像，在右侧图像中可以清楚地看到污染。

优化你的工作方式：

快速概览样品，节省时间

使用可选的 0.7 倍宏观物镜，快速揭示材料样本中的宏观缺陷和结构。宏观物镜提供约 36 毫米的视场，可快速定位和高效筛选，从而节省您的时间。

要检测高度超过 42 毫米的高大样本，显微镜可以配备一个“材料版”入射光轴。使用该轴时，对高度较低的样本进行检测将需要一个载物台插件。

在安全可控的环境中保持用户舒适度

以放松的姿势工作，确保在整个检测过程中保持舒适，帮助提高工作效率。

舒适地工作，提高工作效率

DM8000 M 和 DM12000 M 显微镜采用符合人体工学的设计，并提供自动化功能，让您在操作时不会感到疲劳，帮助您集中精力观察样本，尤其是在进行重复性检查时。

凭借可单独调节的人体工学目镜筒和高度可调的聚焦旋钮，您可以确保在日常检查和其他应用中在工作站获得满意的舒适度。

专为安全可控的环境而设计

当您需要检测任务关键型组件时，DM8000 M 和 DM12000 M 可在洁净室中使用。

具有表面电阻率的导电材料可保护您的产品免受静电损害。

封装的电动转盘专为要求苛刻的环境条件而设计。

集成的可见光和紫外光 LED 照明可降低污染风险。

对于洁净室，该显微镜的设计可优化其周围的气流，确保层流保持不受干扰。

产品参数 

·         研究级材料显微镜，适合晶圆、电子元器件、金属、陶瓷、高分子材料、粉尘颗粒等样品观察分析，多种安全设计，保护晶圆，镜头及观察者

·         模块化设计，可实现透、反射观察

·         复消色差光路，整体光路支持25mm视野直径

·         6孔位电动物镜转盘，配接直径32mm长工作距离物镜，物镜转盘带编码，可在不同倍数的物镜下自动加载相应倍数的比例尺

·         8 X 8大样品台，可实现8寸晶圆的直接观察

·         内置手动/电动调焦系统

·         独有的0.7X宏观物镜，具有晶圆检查功能

·         可提供全自动明场、暗场、偏光、微分干涉、斜照明等观察方式

·         机身内置LED透、反射照明光源，智能光强变化的控制照明方式

·         可选配UV光源，提高分辨率至亚微米结构，UV由大功率的LED产生，具有UV和OUV功能

·         可自动记忆不同物镜与观察方式下最佳的光强，光阑及聚光镜的组合，自动恢复到位，操作简单快速

·         光强，光阑，观察方式和聚光镜调节除了按键控制外，还可由计算机控制

·         可连接晶圆搬送机进行连续工作

·         可配接摄像头观察和采集图像，并提供专业分析软件

·         可配接高温热台、荧光光源、阴极发光仪、光度计等

产品特点

·         适用于所有观察方法的 LED 照明系统，LED 不会产生热量，以此保护样本。色温稳定，确保得出真实的可再现分析结果

·         利用 0.7X 的全景物镜，能够获得对样本表面的快速总览

·         高分辨率暗场 (HDF)，为您呈现更多细节

·         UV和OUV观察方式进一步提高了横向分辨率和纵向分辨能力

·         软件强大的专业分析功能，包括晶粒度分析、相分析、铸铁分析、脱碳分析、夹杂物分析和清洁度分析