DM8000 M 和 DM12000 M 是研究级材料显微镜,专为晶圆、电子元器件、金属、陶瓷、高分子材料及粉尘颗粒等样品的观察与分析设计。该系列产品采用模块化结构,支持透射与反射观察模式,具备复消色差光路系统,整体光路支持25mm视野直径,确保成像清晰、色彩真实,适用于高精度工业检测与科研应用。
显微镜配备6孔位电动物镜转盘,兼容直径32mm长工作距离物镜,并带有编码功能,可在不同倍数物镜下自动加载相应比例尺。独有的0.7X宏观物镜可实现约36毫米视场的快速样本概览,显著提升检测效率。结合多种照明与对比技术,包括明场、暗场、偏振光、微分干涉相差 (DIC)、荧光 (Fluo)、红外 (IR) 以及紫外光(UV/OUV)照明,能够有效揭示样本表面的划痕、污染及其他微观缺陷。
✓ 多种照明方式:支持明场、暗场、偏光、DIC、荧光、IR 及 UV/OUV 照明,满足多样化的检测需求。
✓ 高效样本概览:配备0.7X宏观物镜,提供约36毫米视场,快速定位缺陷,节省检测时间。
✓ 自动化智能控制:电动物镜转盘带编码,自动记忆光强、光阑、聚光镜组合,操作简便高效。
✓ 洁净室适用设计:导电材料防静电,封装电动转盘,优化气流结构,适用于洁净环境。
✓ 全面分析能力:可连接摄像头与专业分析软件,支持晶粒度、相分析、夹杂物、清洁度等多种材料分析功能。
1. 多模式照明系统
集成LED透射与反射光源,色温稳定,无热辐射,保护样本并确保分析结果真实可重现。可选配大功率UV/OUV光源,进一步提升横向与纵向分辨率,适用于亚微米结构观察。
2. 快速样本筛选与定位
通过0.7X宏观物镜实现宽视场(约36毫米)快速扫描,迅速发现宏观缺陷和结构异常,提高初筛效率。特别适合12寸晶圆的大面积直接观察。
3. 智能化光学调节
系统可自动记忆不同物镜与观察方式下的最佳光强、光阑和聚光镜设置,并在切换时自动恢复到位。支持按键或计算机远程控制,提升操作便捷性与一致性。
4. 符合人体工学的操作体验
配备可单独调节的人体工学目镜筒和高度可调的聚焦旋钮,支持长时间舒适操作,减少疲劳,尤其适用于重复性检测任务。
5. 模块化扩展能力
支持连接晶圆搬送机实现连续作业,可配接高温热台、荧光光源、阴极发光仪、光度计等外设,满足复杂实验需求。
| 参数类别 | 技术规格 |
|---|---|
| 产品类型 | 研究级材料显微镜 |
| 适用样品 | 晶圆、电子元器件、金属、陶瓷、高分子材料、粉尘颗粒等 |
| 光路系统 | 复消色差光路,整体光路支持25mm视野直径 |
| 物镜转盘 | 6孔位电动物镜转盘,配接直径32mm长工作距离物镜,带编码功能 |
| 样品台尺寸 | 12 X 12大样品台,可实现12寸晶圆的直接观察 |
| 调焦系统 | 内置手动/电动调焦系统 |
| 宏观物镜 | 0.7X宏观物镜,具有晶圆检查功能,提供约36毫米视场 |
| 观察方式 | 可提供全自动明场、暗场、偏光、微分干涉、斜照明等观察方式 |
| 照明系统 | 机身内置LED透、反射照明光源;可选配UV光源,由大功率LED产生,具有UV和OUV功能 |
| 智能控制 | 可自动记忆不同物镜与观察方式下最佳的光强、光阑及聚光镜组合,并自动恢复;支持计算机控制 |
| 扩展接口 | 可连接晶圆搬送机进行连续工作;可配接摄像头、高温热台、荧光光源、阴极发光仪、光度计等 |
| 图像采集 | 可配接摄像头观察和采集图像,并提供专业分析软件 |
| 安全设计 | 多种安全设计,保护晶圆、镜头及观察者;导电材料防止静电损害;封装电动转盘适应严苛环境 |
| 洁净室适用性 | 可在洁净室中使用,设计优化气流,确保层流不受干扰 |
适用领域:半导体制造、电子元器件检测、材料科学研究、金属与陶瓷分析、高分子材料表征、洁净室质量控制、晶圆缺陷检测、工业失效分析等。
显微镜支持高达42毫米的高大样本检测,此时需配备“材料版”入射光轴;对于较低样本,则需使用载物台插件配合检测。
LED照明系统不产生热量,避免样本受热损伤,同时保证色温稳定,提升图像再现性。UV和OUV照明模式结合倾斜照明,可显著增强表面细节对比度。
自动化功能包括电动物镜切换、光强自适应调节、聚光镜联动控制,支持通过计算机统一管理,适用于高通量、标准化检测流程。
专业分析软件支持:晶粒度分析、相分析、铸铁分析、脱碳分析、夹杂物分析、清洁度分析等功能,满足材料科学多维度评估需求。





A:是的,该显微镜配备12 X 12大样品台,可实现12寸晶圆的直接观察。
A:有,配备独有的0.7X宏观物镜,提供约36毫米视场,可用于快速定位缺陷和高效筛选样本。
A:可以,该显微镜采用导电材料防止静电损害,封装电动转盘,并优化气流设计,确保层流不受干扰,适用于洁净室环境。
A:支持,可选配由大功率LED产生的UV光源,具有UV和OUV功能,可将分辨率提升至亚微米结构。
A:具备,系统可自动记忆不同物镜与观察方式下的最佳光强、光阑及聚光镜组合,并自动恢复到位,支持按键或计算机控制。








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