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6JAS数码型干涉显微镜是一款专用于测量精密加工零件表面光洁度的高精度光学仪器,适用于平面、圆柱等外表面的检测。该仪器具备先进的干涉测量技术,结合数码成像系统,能够实现对表面微观形貌的精确分析。
本设备不仅可测量零件表面刻线、镀层深度,还可配备多种附件用于粒状结构及复杂纹理表面的评估。其支持在大型工件上直接安装测量,扩展了使用场景,广泛应用于厂矿企业计量室、精密加工车间以及高等院校和科研机构。
✓ 高精度测量能力:可评定▽10~▽14光洁度等级,对应表面不平深度范围为1~0.03μm,满足超精密表面检测需求。
✓ 多功能扩展性:支持测量低反射率工件、加工纹路混乱表面,并可通过附件实现多种特殊样品的观测。
✓ 灵活便携设计:仪器可安置于大型工件表面进行现场测量,突破传统台式设备的空间限制。
✓ 数码成像集成:配备数码相机系统(含数码相机、90度数码适配镜、转接器),支持图像记录与后期分析。
✓ 宽电压适应能力:可调变压器支持220V或110V输入,输出电压可调范围为4V~6V,适应不同供电环境。
1. 超高放大倍数观测:仪器总放大倍数达500×,测量目镜放大倍数为12.5×,配合高数值孔径物镜,确保微小结构清晰可见,提升测量准确性。
2. 精准视场控制:目视视场直径为Φ0.25mm,结合测微鼓分划值0.01mm,实现对微区区域的精确定位与定量分析。
3. 绿色干涉滤光技术:采用波长λ≈5300Å的绿色干涉滤光片,半宽度▽λ≈100Å,提供稳定干涉条纹,增强对比度与测量重复性。
4. 三维调节平台:工作台升程为5mm,X、Y方向移动范围≈10mm,旋转运动可达360°,便于多角度对焦与定位操作。
5. 标准镜双反射率配置:仪器标配高反射率(≈50%)与低反射率(≈4%)标准镜,适配不同材质表面的干涉测量需求。
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 1、测量表面光洁度范围 | ▽10~▽14 |
| 2、工作物镜的数值孔径 | 0.65 |
| 3、工作距离 | 0.5mm |
| 4、仪器的视场 目视 | Φ0.25mm |
| 5、仪器的放大倍数 | 500× |
| 6、测量目镜放大倍数 | 12.5× |
| 7、测微鼓分划值 | 0.01mm |
| 8、绿色干涉绿色片波长 | λ≈5300Å |
| 9、半宽度 | ▽λ≈100Å |
| 10、工作台升程 | 5mm |
| 11、X、Y方向移动范围 | ≈10mm |
| 12、旋转运动范围 | 360° |
| 13、可调变压器输入电压 | 220V 或110V |
| 14、输出电压(可调) | 4V~6V |
| 15、仪器标准镜 | 高反射率:≈50%; ;低反射率: ≈4% |
| 16、仪器外形尺寸 | 270×160×230mm |
| 17、仪器重量 | ≈5㎏ |
| 18、数码相机系统 | 数码相机、90度数码适配镜、转接器 |
适用领域:厂矿企业计量室、精密加工车间、高等院校、科学研究单位。
典型应用:精密机械零件表面光洁度检测、镀层厚度与刻线深度测量、低反射率材料表面形貌分析、大型工件现场局部检测。
本仪器通过干涉原理实现对表面微观不平度的非接触式测量,利用绿色干涉滤光片产生单色光照明,形成清晰干涉条纹。配合测微目镜和照相方法,可对▽10~▽14级光洁度表面进行定性和定量评定。
工作台具备升降、平移和旋转功能,支持全方位调节。仪器配备标准反射镜组,包含高反射率(≈50%)和低反射率(≈4%)两种类型,适配不同被测表面特性。
数码相机系统由以下部件组成:
数码相机
90度数码适配镜
转接器
A:测量表面光洁度范围为▽10~▽14,相当于表面不平深度范围1~0.03μm。
A:仪器的放大倍数为500×,测量目镜放大倍数为12.5×。
A:是的,仪器可以安置在工件上,对大型工件表面进行直接测量。
A:X、Y方向移动范围约为10mm。
A:数码相机系统包括数码相机、90度数码适配镜和转接器。
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