6JA干涉显微镜是一款专用于测量精密加工零件表面光洁度的高精度光学仪器，适用于平面、圆柱等外表面的检测。同时，该仪器也可用于测量零件表面刻线、镀层等深度，广泛应用于精密制造与材料分析领域。
本仪器配备高数值孔径的工作物镜和多种观测模式，支持目视与照相两种测量方式，具备良好的灵活性与准确性。其稳定的机械结构与精确的测微系统，确保了在微米级测量中的可靠表现，满足科研与工业检测的严苛需求。
✓ 高精度测量：测微鼓分划值达0.01mm，确保微小高度变化的精准读取。
✓ 多功能应用：可测量表面光洁度、刻线深度及镀层厚度，适用场景广泛。
✓ 双观测模式：支持目视（500X）与照相（168X）放大倍数，灵活适配不同检测需求。
✓ 精密工作台：X、Y方向移动范围≈10mm，旋转360˚，便于样品多角度定位。
✓ 稳定光源系统：配备绿色干涉滤色片（λ≈5300Å），半宽度Δλ≈100Å，提供高质量干涉条纹。
1. 表面光洁度测量功能
测量范围为10-14，适用于高精度加工表面的质量评估，能够清晰分辨细微表面特征，提升工艺控制水平。
2. 高数值孔径物镜设计
工作物镜数值孔径为0.65，结合0.5mm的工作距离，可在近距离实现高分辨率成像，增强细节捕捉能力。
3. 目视与照相双模式观测
仪器视场分别为目视φ0.25mm和照相0.21*0.15mm，配合不同放大倍数（目视500X，照相168X），满足观察与记录双重需求。
4. 精密测微系统
测微目镜放大倍数为12.5X，测微鼓分划值为0.01mm，实现对表面微小起伏的精确量化。
5. 宽范围工作台调节
工作台升程为5mm，X、Y方向移动范围≈10mm，旋转运动可达360˚，便于对复杂样品进行全方位定位与扫描。
| 参数名称 | 技术指标 |
|---|---|
| 测量表面光洁度范围 | 10-14 |
| 工作物镜的数值孔径 | 0.65 |
| 工作距离 | 0.5mm |
| 仪器的视场 | 目视：φ0.25mm 照相：0.21* 0.15mm |
| 测微目镜放大倍数 | 目视：500X 照相：168X |
| 测微目镜放大倍数 | 12.5X |
| 测微鼓分划值 | 0.01mm |
| 绿色干涉滤色片波长 | λ≈5300Å |
| 半宽度 | Δλ≈100Å |
| 工作台升程 | 5mm |
| X、Y方向移动范围 | ≈10mm |
| 旋转运动范围 | 360˚ |
| 仪器标准镜高反射率 | ≈60% |
| 低反射率 | ≈4% |
| 可调变压器输入电压 | 220V |
| 输出电压 | 4V-6V |
| 仪器外形尺寸 | 270*160*230mm |
| 仪器重量 | 5公斤 |
适用领域：精密机械加工、表面工程研究、材料科学、光学元件检测、镀层质量控制、微结构深度测量等。
仪器采用干涉原理进行表面形貌测量，通过绿色干涉滤色片产生单色光，形成清晰干涉条纹，结合测微目镜实现垂直方向的高度读取。工作台具备三维调节能力，支持精细定位。
配置包括：干涉物镜、测微目镜、可调变压器、标准反射镜组、照明系统等。电源系统支持220V输入，输出电压4V-6V，保障光源稳定。
A：测量表面光洁度范围为10-14。
A：测微鼓分划值为0.01mm。
A：工作物镜的数值孔径为0.65。
A：X、Y方向移动范围≈10mm。
A：仪器外形尺寸为270*160*230mm。
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