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title: "上海一恒 BPZ-6090MS HMDS真空干燥箱"
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category: "产品中心 > 实验仪器 > 制冷设备 > 冻干机、冷冻干燥机"
brand: "上海一恒"
model: "BPZ-6090MS"
updated_at: 2026-07-14T19:57:55+08:00
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# 上海一恒 BPZ-6090MS HMDS真空干燥箱

> 产品概述上海一恒BPZ-6090MS HMDS真空干燥箱是专为半导体晶圆在进行HMDS预处理工艺中的干燥需求而研发的高端实验室设备。该设备通过先进的程序控制系统，能够自动完成抽真空、通氮气、再抽真空等

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## 基本信息

- 品牌：上海一恒
- 型号：BPZ-6090MS
- 所属分类：产品中心 > 实验仪器 > 制冷设备 > 冻干机、冷冻干燥机
- 市场价：9999.99
- 发货周期：现货
- 原始页面：https://www.huiyusys.com/Freeze_freeze_dryer/64545.html

## 产品概述

产品概述

上海一恒BPZ-6090MS HMDS真空干燥箱是专为半导体晶圆在进行HMDS预处理工艺中的干燥需求而研发的高端实验室设备。该设备通过先进的程序控制系统，能够自动完成抽真空、通氮气、再抽真空等复杂工艺流程，完美适配光刻过程中的涂胶前处理环节。

设备可在洁净环境下稳定运行，满足无尘生产工艺的高标准要求。其独特的长方形真空室设计不仅有效利用了空间，还结合了316不锈钢工作室与内胆加热技术，确保了无氧化、耐腐蚀的干燥环境，广泛应用于半导体、电子、医疗卫生及仪器仪表等领域的精密干燥工艺。

产品亮点/核心优势

✓ 智能程序控制：支持温度、真空度、时间及通氮参数的自动化程序设定，确保每批次烘烤的一致性，显著降低产品差异。

✓ 优质耐腐蚀材质：工作室采用316不锈钢制造，具备卓越的耐酸碱腐蚀性能，经久耐用且便于清洁维护。

✓ 安全内胆加热：采用内胆加热方式，箱体内无电子元器件，从根源上避免污染与腐蚀风险，提升使用安全性。

✓ 高密封性设计：配备整体成型合成硅橡胶门封圈及弹性双层钢化玻璃门，确保箱内高真空度并保持观察视野清晰。

✓ 远程监控能力：标配485通讯接口，支持外置软件实时查看设备运行状态，实现全过程远程监控与管理。

功能特点详解

1. 智能化人机交互界面：采用智能触摸屏控制系统，用户可直接设定温度、真空度及时间等关键参数。菜单式操作逻辑简洁直观，极大降低了操作难度与维护成本，提升了实验效率。

2. 自动化HMDS工艺流程：设备内置专用程序控制逻辑，可根据特定工艺需求，自动执行加热、真空度调节、通氮气及定时控制等步骤。这种自动化流程有效消除了人为操作误差，保证了半导体晶圆处理的高精度与重复性。

3. 卓越的结构与密封性能：长方形真空室设计提供了更大的有效容积，充分利用实验室空间。箱门闭合松紧可调，配合高品质硅橡胶密封圈，在长期高真空环境下仍能保持优异的密封效果，防止外界气体渗入。

4. 多重安全防护机制：除了常规的温控系统外，设备还可选配超温保护温控口，作为独立的安全冗余，有效防止因温度失控导致的安全事故。低噪声专业真空泵的配置，进一步保证了真空控制的稳定性与环境的安静。

5. 洁净无污染的工作环境：通过将加热元件置于内胆内部，避免了传统外加热可能带来的热辐射不均及电子元件老化污染问题。结合316不锈钢内壁，确保在严苛的化学环境中也能…

## 适用场景

适用于冻干机、冷冻干燥机相关的实验、检测、教学和采购场景。

## 关键参数

- 搁板：2块
- 加热方式：内胆加热
- 控温范围：RT+10~250℃
- 电源电压：AC220V 50HZ
- 输入功率：3500W
- 工作室材料：316不锈钢
- 达到真空度：100Pa
- 工作环境温度：＋5～40℃
- 内胆尺寸(mm)W×D×H：450×450×450
- 外形尺寸(mm)W×D×H：610×590×1350
- 温度分辨率/波动度：0.1℃ /±1℃

## 采购与交付

价格信息：9999.99；发货周期：现货；计量单位：台；如需品牌授权、配置确认、到货周期或正式报价，请通过原始产品页询价入口进一步沟通。

## 常见问题

### 这款真空干燥箱主要适用于哪些应用场景？

该设备专为半导体晶圆在进行HMDS预处理工艺中的干燥需求而研发，完美适配光刻过程中的涂胶前处理环节。它广泛应用于半导体、电子、医疗卫生及仪器仪表等领域，特别适用于需要无氧化、耐腐蚀环境的精密干燥工艺，如半导体晶圆增粘处理、光刻工艺前的涂胶干燥以及洁净室环境中的高真空脱水工艺。

### 该设备的控温精度和真空度参数是多少？

根据技术参数，该设备的控温范围为RT+10~250℃，温度分辨率为0.1℃，温度波动度为±1℃。在真空性能方面，其达到的真空度为100Pa，能够确保在高真空环境下稳定运行。

### 如何操作该设备进行自动化的HMDS工艺流程？

设备采用智能触摸屏控制系统，支持菜单式操作。用户可直接设定温度、真空度、时间及通氮参数。设备内置专用程序控制逻辑，可自动执行加热、真空度调节、通氮气及定时控制等步骤，无需人工频繁干预，从而消除人为操作误差，保证处理的高精度与重复性。

### 日常使用中应如何维护和清洁该设备？

由于工作室采用316不锈钢制造，具备卓越的耐酸碱腐蚀性能且便于清洁，建议定期清洁316不锈钢内壁以维持洁净度。此外，使用前请检查整体成型合成硅橡胶门封圈是否完好，以确保箱内高真空度并防止外界气体渗入。

### 该产品的电源要求及外形尺寸是多少？

该设备的电源电压为AC220V 50HZ，输入功率为3500W。其外形尺寸(mm)W×D×H为610×590×1350，内胆尺寸为450×450×450mm，配备2块搁板，工作环境温度要求在＋5～40℃之间。

## 联系与采购

- 咨询电话：13760608322
- 官网首页：https://www.huiyusys.com/
- 产品中心：https://www.huiyusys.com/pro/
- 原始产品页：https://www.huiyusys.com/Freeze_freeze_dryer/64545.html
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## 关于慧宇科仪

慧宇科仪是广东慧宇科技有限公司旗下的科研仪器设备数字化采购平台，提供产品信息、品牌信息、技术文档与采购咨询入口。咨询电话：13760608322。

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- 更新时间：2026-07-14