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title: "上海一恒 BPZ-6060MS 真空干燥箱"
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category: "产品中心 > 实验仪器 > 制冷设备 > 冻干机、冷冻干燥机"
brand: "上海一恒"
model: "BPZ-6060MS"
updated_at: 2026-07-14T19:57:25+08:00
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# 上海一恒 BPZ-6060MS 真空干燥箱

> 产品概述上海一恒BPZ-6060MS真空干燥箱是专为半导体晶圆HMDS预处理工艺及高洁净度生产环境设计的精密干燥设备。该设备通过程序化控制，能够自动执行抽真空、通氮气等复杂工艺流程，完美适配光刻涂胶前

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## 基本信息

- 品牌：上海一恒
- 型号：BPZ-6060MS
- 所属分类：产品中心 > 实验仪器 > 制冷设备 > 冻干机、冷冻干燥机
- 市场价：9999.99
- 发货周期：现货
- 原始页面：https://www.huiyusys.com/Freeze_freeze_dryer/64531.html

## 产品概述

产品概述

上海一恒BPZ-6060MS真空干燥箱是专为半导体晶圆HMDS预处理工艺及高洁净度生产环境设计的精密干燥设备。该设备通过程序化控制，能够自动执行抽真空、通氮气等复杂工艺流程，完美适配光刻涂胶前的预处理需求，确保工艺的一致性与高效性。

设备工作室采用316不锈钢制造，具备优异的耐酸碱腐蚀性能，满足无尘、无氧化的严苛生产工艺要求。其独特的内胆加热设计与智能控制系统相结合，不仅提升了温度控制的均匀性与稳定性，还有效避免了电子元器件污染，是半导体、电子仪器、医疗卫生等领域进行高精度干燥处理的理想选择。

产品亮点/核心优势

✓ 智能程序控制：支持触摸屏菜单式操作，可自定义设定加热、真空度及通气流程，实现自动化工艺循环。

✓ 优质耐腐蚀材质：工作室整体采用316不锈钢，耐酸碱腐蚀性强，经久耐用且易于清洁维护。

✓ 安全内胆加热技术：加热元件位于内胆外部，箱体内无电子元器件，杜绝污染风险，提升使用安全性。

✓ 高密封真空结构：配备弹性双层钢化玻璃门及合成硅橡胶门封圈，闭合松紧可调，确保持续高真空环境。

✓ 远程监控能力：标配通讯接口，支持外置软件实时查看设备运行状态与程序进度，便于全程监控。

功能特点详解

1. 智能化人机交互界面：采用先进的智能触摸屏控制系统，用户可直接设定温度、真空度及时间参数。菜单式操作逻辑清晰，大幅降低操作难度，使日常维护与参数调整更加便捷高效。

2. 自动化工艺程序管理：设备具备强大的程序控制功能，可根据具体工艺需求，精确设定加热阶段、真空度阈值、通氮时间及循环次数。这种自动化控制确保了每批次产品烘烤的一致性，显著降低人为误差导致的品质差异。

3. 优化的空间利用设计：长方形真空室结构设计，在有限的外形尺寸下提供了更大的有效容积，充分利用实验室或生产车间的空间。双层钢化玻璃观察窗让内部物体一目了然，便于实时监控干燥进程。

4. 多重安全防护机制：除了常规的温控系统外，设备增设超温保护温控口（选配），有效防止因温度失控引发的安全问题。低噪声专业真空泵的配置，不仅保证了真空控制的稳定性，还降低了工作环境噪音。

5. 洁净无污染加热方式：采用内胆加热技术，将加热源与工作室内部隔离，确保箱体内无任何电子元器件暴露。这种设计从根本上避免了高温下的材料挥发或电子元件老化对样品的污染，特别适用于对洁净度要求极高的半导体工艺。…

## 适用场景

适用于冻干机、冷冻干燥机相关的实验、检测、教学和采购场景。

## 关键参数

- 搁板：2块
- 加热方式：内胆加热
- 控温范围：RT+10~250℃
- 电源电压：AC220V 50HZ
- 输入功率：3000W
- 工作室材料：316不锈钢
- 达到真空度：100Pa
- 工作环境温度：＋5～40℃
- 内胆尺寸(mm)W×D×H：400×400×400
- 外形尺寸(mm)W×D×H：600×570×1390
- 温度分辨率/波动度：0.1℃ /±1℃

## 采购与交付

价格信息：9999.99；发货周期：现货；计量单位：台；如需品牌授权、配置确认、到货周期或正式报价，请通过原始产品页询价入口进一步沟通。

## 常见问题

### 这款真空干燥箱主要适用于哪些领域和工艺？

该设备专为半导体晶圆HMDS预处理工艺及高洁净度生产环境设计，特别适配光刻涂胶前的预处理需求。同时也广泛应用于电子仪器、医疗卫生、精密仪器仪表等领域，适合进行对酸碱敏感材料的低温真空干燥或需要通氮气保护的无氧化干燥工艺。

### 该设备的控温精度和真空性能参数是多少？

根据技术参数，该设备的控温范围为RT+10~250℃，温度分辨率为0.1℃，温度波动度为±1℃。在真空性能方面，其能达到的真空度为100Pa，能够确保高效的干燥效果。

### 如何操作该设备以实现自动化干燥流程？

设备采用智能触摸屏菜单式操作，用户可直接设定温度、真空度及时间参数。它支持程序化控制，可自定义设定加热、真空度及通气（如通氮气）流程，实现自动化工艺循环，从而确保每批次产品烘烤的一致性并降低人为误差。

### 日常使用中应如何清洁和维护工作室？

工作室整体采用316不锈钢制造，具有优异的耐酸碱腐蚀性能且易于清洁。建议定期清洁工作室内部及双层钢化玻璃观察窗，以保持设备洁净。使用前请检查合成硅橡胶门封圈是否完好，确保箱门闭合紧密以维持高真空环境。

### 该设备的电源要求及外形安装尺寸是多少？

该设备的电源电压为AC220V 50HZ，输入功率为3000W。其外形尺寸为宽600mm×深570mm×高1390mm，内胆尺寸为400mm×400mm×400mm，配备2块搁板。请注意工作环境温度需保持在＋5～40℃之间。

## 联系与采购

- 咨询电话：13760608322
- 官网首页：https://www.huiyusys.com/
- 产品中心：https://www.huiyusys.com/pro/
- 原始产品页：https://www.huiyusys.com/Freeze_freeze_dryer/64531.html
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## 关于慧宇科仪

慧宇科仪是广东慧宇科技有限公司旗下的科研仪器设备数字化采购平台，提供产品信息、品牌信息、技术文档与采购咨询入口。咨询电话：13760608322。

## 原始产品页

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- 更新时间：2026-07-14