ICM-100BD明暗场工业检测显微镜是一款专为工业领域设计的高性能检测设备,适用于对工件表面的组织结构与几何形态进行高精度显微观察。该产品采用先进的无限远光学系统与模块化功能设计理念,支持系统灵活升级,可拓展实现偏光、暗场等多种观察方式,满足多样化检测需求。
配备导柱升降装置,能够快速调节工作台与物镜之间的距离,适应不同厚度工件的检测要求。机械移动式载物平台提供精准定位能力,结合圆柱滚子导向传动调焦机构,确保升降平稳、操作顺畅。本显微镜广泛应用于精密零件、集成电路、包装材料等产品的质量检测与分析。
✓ 明暗场兼容设计:ICM-100BD支持明场与暗场观察,提升表面缺陷和微细结构的成像对比度。
✓ 无限远平场消色差物镜:标配PL L5X/0.12 BD至PL L50X/0.70 BD系列物镜,成像清晰、色彩还原准确。
✓ 模块化扩展能力:可便捷升级偏光、暗场等功能模块,满足多场景检测需求。
✓ 精密调焦系统:粗微动同轴调焦,微动格值达2μm,配合松紧度调节装置,操作更精准稳定。
✓ 高亮度落射照明:搭载12V50W卤素灯,亮度连续可调,内置滤色片与光栏系统,优化成像质量。
1. 无限远光学系统
采用高品质无限远平场消色差物镜,有效消除像差,提供大视场、高分辨率的清晰图像,特别适合对集成电路和精密零件的微观结构进行精确观测。
2. 明/暗场双模式配置
ICM-100BD型号配备专用明/暗场物镜(如PL L5X/0.12 BD、PL L50X/0.70 BD),结合落射照明系统,可在同一平台上切换观察模式,显著增强样品表面细节的可见性。
3. 三目镜筒设计
30˚倾斜三目镜筒支持100%通光摄影,便于连接数码成像系统,实现图像采集与记录,适用于报告生成与远程会诊等应用。
4. 稳定的调焦与载物平台
粗微动同轴调焦机构配备微动格值2μm,确保精细聚焦;机械式载物台移动范围达横向35mm、纵向30mm,定位准确,便于大范围扫描样品区域。
5. 智能化照明系统
内置视场光栏、孔径光栏及黄、蓝、绿、磨砂玻璃滤色片转换装置,搭配推拉式检偏器与起偏器,可根据样品特性优化照明条件,提升成像对比度与清晰度。
目镜 |
大视野 WF10X(视场数Φ22mm) |
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无限远平场消色差物镜 |
ICM-100 |
PL L5X/0.12 工作距离:26.1 mm |
PL L10X/0.25 工作距离:20.2 mm |
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PL L20X/0.40 工作距离:8.80 mm |
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PL L50X/0.70 工作距离:3.68 mm |
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ICM-100BD |
PL L5X/0.12 BD 工作距离:9.70 mm |
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PL L10X/0.25 BD 工作距离:9.30 mm |
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PL L20X/0.40 BD 工作距离:7.23mm |
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PL L50X/0.70 BD 工作距离:2.50 mm |
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目镜筒 |
三目镜30˚倾斜, 可100%通光摄影。 |
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落射照明系统 |
ICM-100 |
6V30W卤素灯,亮度可调 |
ICM-100BD |
12V50W卤素灯,亮度可调 |
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内置视场光栏、孔径光栏、(黄、蓝、绿、磨砂玻璃)滤色片转换装置,推拉式检偏器与起偏器 |
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调焦机构 |
粗微动同轴调焦,带粗动手轮松紧度调整装置,微动格值:2μm。 |
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转换器 |
五孔(内向式滚珠内定位) |
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工作台 |
底座外形尺寸:300mmX240mm |
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机械式载物台外形尺寸:185mmX140mm,移动范围:横向35mm,纵向:30mm |
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适用领域:精密零件检测、集成电路分析、半导体封装检查、电子元器件质检、包装材料表面形貌观察、金属加工件缺陷检测等。
仪器用途简介:
ICM-100/100BD工业检测显微镜适用于对工件表面的组织结构与几何形态进行显微观察。采用优良的无限远光学系统与模块化功能设计理念,可以方便升级系统,实现偏光观察、暗场观察等功能,导柱升降装置,可以快速调整工作台与物镜之间的距离,适用于不同厚度工件检测。机械移动式载物平台可有效定位工件观察部位。调焦机构采用圆柱滚子导向传动,机构升降平稳。产品适用于精密零件,集成电路,包装材料等产品检测。
结构与配置说明:
目镜:大视野 WF10X(视场数Φ22mm)
目镜筒:三目镜30˚倾斜, 可100%通光摄影。
转换器:五孔(内向式滚珠内定位)
调焦机构:粗微动同轴调焦,带粗动手轮松紧度调整装置,微动格值:2μm。
工作台:底座外形尺寸:300mmX240mm;机械式载物台外形尺寸:185mmX140mm,移动范围:横向35mm,纵向:30mm
A:ICM-100BD支持明场与暗场观察,并可通过模块化设计升级实现偏光观察等功能。
A:ICM-100BD配备PL L5X/0.12 BD、PL L10X/0.25 BD、PL L20X/0.40 BD、PL L50X/0.70 BD明/暗场物镜。
A:ICM-100BD采用12V50W卤素灯作为落射照明光源,亮度可调。
A:机械式载物台移动范围为横向35mm,纵向30mm。
A:调焦机构的微动格值为2μm,确保精细聚焦操作。
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