BM-SG12BDD 高级透反射显微镜是专为半导体工业、硅片制造业及电子信息产业量身打造的高端检测设备。该仪器集成了先进的明/暗场观察技术与无限远光学系统,能够为用户提供清晰、锐利的显微图像,满足对精密模具、电路基板及金属陶瓷部件的高标准检测需求。
作为同系列的高级型号,本机在保留优异光学性能的基础上,特别配置了高分辨率数字 CMOS 摄像系统及专用几何测量分析软件,实现了从目视观察到数字化定量分析的跨越。其稳固的机械结构与人性化的操作设计,确保了在长时间科研与工业检测中的稳定性与舒适度。
✓ 无限远光学系统:提供卓越的成像质量与更大的视场范围,消除像差,确保图像边缘至中心的清晰度。
✓ 明暗场双照明模式:集成透射与反射照明光路,灵活切换明场与暗场观察,适应不同样品表面的检测需求。
✓ 超长工作距离物镜:特殊设计的物镜组提供更长的工作距离,便于操作大型或不规则样品,避免镜头碰撞。
✓ 数字化智能成像:内置高像素工业相机与专业测量软件,支持实时图像采集、几何尺寸测量及数据分析。
✓ 人性化机械操控:配备同轴粗微调焦机构与大行程移动平台,操作手感顺滑,定位精准,大幅提升检测效率。
1. 卓越的光学成像性能:
采用无限远色差校正光学系统,搭配超宽视场平场目镜,有效扩大观察视野并提升图像平整度。物镜经过特殊镀膜处理,透光率高,色彩还原真实,为微观细节的捕捉提供坚实基础。
2. 灵活的明暗场照明系统:
仪器同时具备透射科勒照明与反射落射照明功能,光源亮度连续可调。反射光路中带有孔径光阑和视场光栏,可精确控制光照范围与对比度,轻松应对反光强烈或透明多样的复杂样品。
3. 高精度机械载物台:
双层机械移动平台设计,拥有宽敞的移动范围与精细的游标刻度。低重心结构保证了载物台的平稳性,即使在最高倍率下也能实现平滑的样品扫描与定位,无抖动现象。
4. 专业的数码测量系统:
标配高灵敏度彩色 CMOS 摄像机,通过 C 接口无缝连接。配套软件功能强大,支持点、线、圆、弧等多种几何元素的自动识别与测量,可直接输出直线度、圆度及面积等分析报告。
5. 舒适的观察体验:
双目镜筒瞳距可调,符合人体工程学设计,减轻长时间观察的视觉疲劳。调焦机构采用同轴设计,粗微动切换顺畅,微调格值极小,便于进行精细聚焦操作。
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 超宽视场平场目镜 | 10X,φ25mm |
| 十字分划目镜 | 10X,φ20mm,0.1mm 十字分划板 |
| 超长工作距离平场无限远明/暗场物镜 | 5X、10X、20x、50X、100X(oil) |
| 机械筒长 | 无限远系统∞ |
| 放大倍数 | 50X-1000X |
| 转换器 | 带 DIC 插孔的大四孔转换器 |
| 工作台移动平台 | 189×160mm 移动范围:80×50mm,游标:0.1mm |
| 瞳距 | 55-75 mm |
| 调焦装置 | 30 mm 粗微动调焦同轴机构微调格值 0.002mm |
| 偏光装置 | 检偏镜可 360 度转动,起偏镜、检偏镜均可移动出光路 |
| 聚光镜 | N.A.1.25 可调中阿贝聚光镜带可变光栏 |
| 滤色片 | 滤色片(绿、蓝、中性) |
| 光源透射照明 | 科勒照明卤素灯 12V50W,AC85V—260V,亮度连续可调 |
| 光源反射照明 | 卤素灯 12V50W,AC85V—260V,亮度连续可调、带孔径光阑和视场光栏 |
| 计算机成像系统 | 数字 CMOS 摄像机,500 万像素,带几何测量分析软件 (该软件对点、线、圆及弧、直线度、圆度、面积等测量); C 接口; 电脑自购 |
适用领域:广泛应用于半导体晶圆检测、FPD 平板显示制造、微电子封装测试、冶金金相分析以及精密模具加工行业。
典型用途:适用于油脂分析、电路板基板缺陷检测、铸件内部结构观察、金属与陶瓷材料晶粒分析,以及各类微小零部件的尺寸测量与表面形貌研究。
标准配置:主机含无限远光学系统、超宽视场平场目镜、十字分划目镜、全套长工作距离物镜、大四孔转换器、双层机械移动平台、透反射双照明光源、阿贝聚光镜、滤色片组、500 万像素 CMOS 相机及几何测量软件(不含电脑)。
工作原理:利用无限远光学系统将样品发出的光线转换为平行光束,经物镜后在像平面成像。透射光路用于观察透明或半透明样品内部结构,反射光路配合明暗场切换用于观察不透明样品表面形貌。数字相机将光学图像转化为电信号,由软件进行数字化处理与量化分析。
操作提示:使用前请调节瞳距至双眼视野重合;切换高倍物镜时请注意工作距离,避免压碎样品;使用油镜后请及时用专用清洁剂擦拭镜头;进行数字测量前需先通过软件进行标定校准。
A:BM-SG12BDD 高级透反射生物显微镜专为半导体工业、硅片制造业及电子信息产业量身打造。它集成了明/暗场观察技术与无限远光学系统,广泛应用于半导体晶圆检测、FPD 平板显示制造、微电子封装测试、冶金金相分析以及精密模具加工行业,特别适用于电路板基板缺陷检测、金属与陶瓷材料晶粒分析及微小零部件的尺寸测量。
A:该仪器采用无限远光学系统,总放大倍数范围为 50X-1000X。标配超长工作距离平场无限远明/暗场物镜,具体倍率包括 5X、10X、20X、50X 以及 100X(油镜)。配合超宽视场平场目镜(10X,φ25mm)或十字分划目镜(10X,φ20mm),可提供清晰锐利的显微图像。
A:仪器配备同轴粗微动调焦机构,粗调行程为 30mm,微调格值高达 0.002mm,可实现极精细的聚焦操作。载物台采用双层机械移动平台,尺寸为 189×160mm,移动范围为 80×50mm,并带有 0.1mm 精度的游标刻度,确保在高倍率下也能平稳、精准地扫描和定位样品。
A:维护时需注意:使用 100X 油镜后,应及时用专用清洁剂擦拭镜头以防油渍干结损坏镀膜;照明系统采用 12V50W 卤素灯(透射与反射均为该规格),支持 AC85V—260V 宽电压输入且亮度连续可调,长时间使用后若需更换灯泡,请务必断电冷却后再操作;此外,定期清洁聚光镜(N.A.1.25 可调中阿贝聚光镜)表面的灰尘可保持最佳成像对比度。
A:本机标配计算机成像系统,包含一台 500 万像素的数字 CMOS 摄像机(C 接口)及专用几何测量分析软件。软件支持对点、线、圆、弧等几何元素进行自动识别与测量,可直接输出直线度、圆度及面积等分析报告。注意:标准配置中不含电脑,需用户自购配套计算机使用。








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