上光六厂 6JA 干涉显微镜

产品概述

上光六厂6JA干涉显微镜是专为精密加工零件表面质量分析设计的光学仪器。该设备利用光波干涉原理，能够非接触式地测量平面、圆柱等外表面的光洁度，并适用于零件表面刻线及镀层深度的精密检测。

作为计量室及精密制造领域进行微观形貌评估的重要工具，6JA显微镜结合了高数值孔径物镜与精密测微系统，确保了观测的清晰度与测量的准确性。其紧凑的结构设计与稳定的光学性能，使其成为表面粗糙度标准比对及微细结构深度测量的理想选择。

产品亮点/核心优势

功能特点详解

1. 干涉原理表面粗糙度检测：仪器利用参考镜面与被测表面反射光形成的干涉条纹，直观反映表面微观不平度。通过观察条纹弯曲程度或间距，可定性及定量评估表面光洁度等级，适用于高标准精密加工件的质检。

2. 微细结构深度测量能力：除了粗糙度，该显微镜还具备测量微小深度差的能力。对于零件表面的刻线、沟槽或沉积镀层，可通过测微目镜精确测定其垂直方向的深度尺寸，拓展了仪器在微电子及精密机械领域的应用范围。

3. 高清晰度光学系统：采用高数值孔径的工作物镜，配合特定波长的绿色干涉滤色片，有效消除杂散光干扰，提高干涉条纹的反差与分辨率。这种光学配置确保了在微小视场内也能获得清晰的细节图像，便于细微缺陷的识别。

4. 多维精密工作台：仪器配备可升降及XY方向移动的工作台，支持360度旋转。这种多自由度的机械结构使得操作者能够轻松寻找最佳观测位置，并对不同角度的表面特征进行全方位扫描与测量，提升了操作的便捷性与测量的全面性。

5. 双模观测与记录：系统设计兼顾了实时目视观测与照相记录功能。用户既可以通过高倍率测微目镜直接读取数据，也可以连接照相装置获取永久性的图像记录，便于后续的报告生成、数据分析及档案保存。

技术规格参数

应用领域/适用场景

适用领域：精密机械制造、计量检测实验室、半导体晶圆加工、光学元件制造、表面处理工艺研究。

典型用途：用于检定精密加工零件（如量块、精密轴系、光学平板）的表面光洁度等级；测量集成电路引线框架刻线深度；评估金属或非金属表面镀层、氧化膜的厚度均匀性及结合质量。

产品细节/结构说明

标准配置：主机机身、高数值孔径干涉物镜、测微目镜、绿色干涉滤色片、可调变压器电源组件、标准反射镜组。

工作原理：仪器基于迈克尔逊干涉或类似干涉光路原理。光源经滤色片后变为单色光，通过分光棱镜分为两束：一束射向标准参考镜，另一束射向被测表面。两束光反射回来后发生干涉，形成明暗相间的干涉条纹。被测表面的微观不平度会导致条纹弯曲，通过测量条纹弯曲量或间距，即可计算出表面粗糙度或深度值。

操作提示：使用时需确保被测表面清洁无油污，以免影响干涉条纹的形成。调节工作台升降及倾斜，直至视场中出现清晰的干涉条纹。利用测微鼓轮进行精确对线和读数时，应注意消除空程误差。建议在使用前预热光源，以保证光强稳定。