上光六厂 107JA 测量显微镜

产品概述

107JA型测量显微镜是由上光六厂研制的一款小型二维数显计量仪器。该设备集成了高精度的光学观察系统与先进的数字显示技术，主要采用透射与反射复合照明方式，能够清晰呈现被测物体的表面细节与轮廓特征。

作为一款多功能精密测量工具，它专为大规模集成电路线宽、钟表零件及其他微小精密件的几何参数测量而设计。仪器结构紧凑、体积小巧，不仅适用于专业计量室，也能灵活部署于生产作业线及科学研究部门，支持连接CCD系统进行扩展影像测量，是实现高效、精准微观几何量检测的理想选择。

产品亮点/核心优势

功能特点详解

1. 二维精密测量能力：仪器专注于平面几何量的精确采集，能够对精密零部件的长度、角度等关键尺寸进行定性观察与定量分析，满足高标准计量要求。

2. 灵活的光学照明方案：配备透射与反射双重照明光源，用户可根据样品是透明晶圆还是不透明金属件，自由切换最佳观测模式，消除阴影干扰。

3. 数字化读数系统：采用高灵敏度数显装置，实时显示工作台移动坐标，操作直观简便，有效减少人为读数误差，提升检测速度。

4. 模块化影像接口：系统设计兼容性强，支持外接CCD摄像头，可将微观图像传输至显示器或电脑，便于进行更复杂的影像处理与存档管理。

5. 稳固精密的机械结构：尽管机身轻巧，但底座与导轨经过精密加工，确保在移动测量过程中保持极高的稳定性与重复定位精度。

技术规格参数

应用领域/适用场景

适用领域：广泛应用于半导体制造、精密机械加工、钟表制造、科研院所及高校实验室等对微观尺寸有严格控制的行业。

典型用途：主要用于大规模集成电路（IC）的线宽测量、掩膜版检测、小型精密零件（如齿轮、弹簧、钟表组件）的几何参数检验，以及材料表面的微观形貌分析。

产品细节/结构说明

标准配置：主机包含精密移动工作台、双目观察头、透反射照明光源系统、高精度数显箱及电源适配器。玻璃载物台为标准附件，用于放置透明或半透明样品。

工作原理：利用光学显微成像原理，将微小物体放大成像于人眼或CCD传感器。通过精密丝杆驱动工作台在X、Y轴方向移动，结合光栅尺或磁栅尺反馈位移信号，由数显系统实时计算并显示两点间的距离或角度变化。

操作提示：使用前请确保仪器放置在平稳无振动的台面上；根据样品特性选择合适的照明方式（透射或反射）；测量前建议进行零点校准以确保数据准确；连接CCD时请注意接口匹配与驱动安装。