这是一款专为高要求真空应用设计的高性能真空泵,适用于多个高科技与工业领域。产品采用先进的技术方案和耐腐蚀材料制造,具备出色的稳定性和可靠性,广泛服务于真空镀膜、半导体制造、制药研发、化学实验室及医学技术等关键行业。
该设备内置主动防返油阀,确保停机时不发生返油现象,保障系统清洁与安全。配备可调节气镇功能,满足不同工艺对水蒸气排出的需求,同时实现强制供油系统,在高压强下仍能低噪音稳定运行。结构简洁,零部件数量少,便于日常维护与长期使用,已实现四项专利技术成果转化。
✓ 耐腐蚀设计:泵体内部采用耐腐蚀材料及工艺,延长使用寿命,适应复杂工况环境。
✓ 主动防返油保护:内置主动防返油阀设计,可靠保障停机不返油,提升系统安全性。
✓ 可调节气镇功能:支持调节气镇,灵活应对不同工艺中水蒸气排放需求。
✓ 稳定低噪运行:强制供油系统提供更恒定稳压润滑,实现高压强下低噪音稳定运行。
✓ 易于维护保养:零部件数量少,结构紧凑,后期维护更加便捷高效。
✓ 专利技术集成:融合四项专利成果转化,体现核心技术竞争力。
1. 耐腐蚀泵体结构
采用特殊耐腐蚀材料与先进工艺制造泵体内部组件,有效抵抗化学气体侵蚀,特别适用于化工、制药和分析工程等腐蚀性环境。
2. 内置主动防返油阀
在断电或停机时自动关闭油路,防止润滑油倒流进入真空腔室,避免污染样品或系统,保障实验结果准确性。
3. 可调节气镇装置
通过调节气镇阀控制空气进入量,增强对水蒸气的抽除能力,适用于冷冻干燥、真空炉及潮湿气体处理场景。
4. 强制供油润滑系统
采用强制循环供油方式,确保各运动部件充分润滑,即使在高入口压力下也能保持低噪音和稳定运行。
5. 简化结构设计
整机零部件数量精简,降低故障率,提高可靠性,同时显著减少维护时间和成本。
| 50Hz名义抽速M3/h(L/s) | 31.4/8.7 |
| 50Hz抽速M3/h(L/s) | 28.9/8.0 |
| 关气镇极限分压强(Pa) | 5x10-2 |
| 关气镇极限全压强(Pa) | 4x10-1 |
| 开气镇极限全压强(Pa) | 6x10-1 |
| 水蒸气允许压强(Pa) | 25 |
| 水蒸气抽除能力(g/h) | 800 |
| 注油量(min/max)L | 1.5/2 |
| 噪音级 关/开气镇(db a) | 58/60 |
| 适合环境温度℃ | 12-45 |
| 连接口 进气及排气阀 | KF25 |
| 电源 | 单/三相 |
| 电机功率(kw) | 0.75 |
| 产品尺寸(mm) | 582x185x270 |
| 重量(未注油)kg | 40 |
适用领域:真空镀膜、化工、制药研发、冶金、真空炉、灯和灯管制造、半导体、空间模拟、分析工程、环境工程、制冷和空调、电子工程、机械工程、医学技术、真空、干燥箱、高真空系统、化学和研究实验室、冷冻干燥系统、等离子蚀刻。
本产品采用一体化紧凑设计,进气与排气接口均为KF25标准快接法兰,便于系统集成与管道连接。电机功率为0.75kw,支持单相与三相供电,适应多种现场电力条件。设备运行时噪音低至58dB(A),开启气镇后为60dB(A),适合对噪声敏感的实验室环境。
工作环境温度范围为12-45℃,可在常规工业与科研环境中稳定运行。注油量建议控制在1.5L至2L之间,确保润滑效果与运行效率的最佳平衡。
定期检查油位并根据使用频率更换真空泵油,以保证抽气性能和防返油效果;避免在超出允许环境温度范围的条件下长时间运行;启动前确认气镇阀处于合适位置,潮湿气体工况建议开启气镇;停机后应等待系统自然冷却再进行维护操作。
A:50Hz抽速为28.9 m³/h(即8.0 L/s)。
A:是的,该泵内置主动防返油阀设计,可可靠保障停机时不返油。
A:可以,该泵具有可调节气镇功能,水蒸气允许压强为25 Pa,水蒸气抽除能力达800 g/h。
A:噪音级在关闭气镇时为58 dB(A),开启气镇时为60 dB(A),运行平稳低噪。
A:适合环境温度范围为12-45℃,请避免在极端温度环境下运行。








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