真空泵是一款专为多领域高精度真空应用设计的高性能设备,适用于真空镀膜、化工、制药研发、冶金、半导体制造、医学技术及科研实验室等多种工业环境。该产品采用先进的耐腐蚀材料与工艺,结合四项专利技术成果,确保在严苛工况下稳定可靠运行。
其内置主动防返油阀设计有效防止停机时油液倒流,保障系统安全;配备可调节气镇功能,满足不同工艺对水蒸气排出的需求。强制供油系统实现高压强下的低噪音稳定运行,同时零部件精简,便于后期维护保养,提升整体使用效率。
✓ 耐腐蚀材料与工艺:泵体内部采用耐腐蚀材料,延长使用寿命,适应复杂化学环境。
✓ 主动防返油设计:内置主动防返油阀,确保停机时不返油,保护真空系统安全。
✓ 可调节气镇功能:支持根据水蒸气负载调节气镇,优化抽气效率和稳定性。
✓ 强制供油系统:提供更恒定稳压的润滑,在高压强下实现低噪音稳定运行。
✓ 维护便捷性高:结构紧凑,零部件数量少,显著降低维护难度与成本。
✓ 四项专利技术集成:核心技术源自专利成果转化,具备领先的技术性能与可靠性。
1. 耐腐蚀泵体结构
采用特殊耐腐蚀材料与处理工艺,有效抵抗化学气体侵蚀,适用于化工、制药、等离子蚀刻等腐蚀性环境,保障长期稳定运行。
2. 主动防返油保护
内置主动防返油阀,在断电或停机时自动阻断油路,避免润滑油回流至真空腔室,防止污染样品或系统。
3. 可调式气镇装置
可根据实际需求调节气镇开度,控制水蒸气排放能力,适用于冷冻干燥、真空炉、干燥箱等含湿气工况。
4. 高效强制润滑系统
采用强制供油方式,确保各运动部件充分润滑,即使在高压强条件下也能保持低噪音和平稳运行。
5. 精简化结构设计
减少非必要零部件,提高整机可靠性,同时简化拆装流程,方便日常检查与维护。
| 项目 | 参数值 |
|---|---|
| 50Hz名义抽速M³/h(L/s) | 24/6.7 |
| 50Hz抽速M³/h(L/s) | 21.6/6 |
| 关气镇极限分压强(Pa) | 5x10⁻² |
| 关气镇极限全压强(Pa) | 4x10⁻¹ |
| 开气镇极限全压强(Pa) | 6x10⁻¹ |
| 水蒸气允许压强(Pa) | 20 |
| 水蒸气抽除能力(g/h) | 230 |
| 注油量(min/max)L | 1.45/1.9 |
| 噪音级 关/开气镇(db a) | 58/60 |
| 适合环境温度℃ | 12-45 |
| 连接口 进气及排气阀 | KF25 |
| 电源 | 单/三相 |
| 电机功率(kw) | 0.75 |
| 产品尺寸(mm) | 564×185×270 |
| 重量(未注油)kg | 38 |
适用领域:真空镀膜、化工、制药研发、冶金、真空炉、灯和灯管制造、半导体、空间模拟、分析工程、环境工程、制冷和空调、电子工程、机械工程、医学技术、真空系统、干燥箱、高真空系统、化学和研究实验室、冷冻干燥系统、等离子蚀刻等。
定期检查润滑油位,确保注油量在1.45L至1.9L之间;避免在超出12-45℃范围的环境中长时间运行。停机后应确认防返油阀正常关闭,防止油液倒吸。清洁时请使用中性清洁剂擦拭外壳,禁止用水直接冲洗电机部位。
A:50Hz名义抽速为24m³/h(6.7L/s)。
A:是的,该泵内置主动防返油阀设计,可有效保障停机时不返油。
A:可以,该泵具有可调节气镇功能,水蒸气允许压强为20Pa,抽除能力达230g/h。
A:关气镇时噪音级为58dba,开气镇时为60dba,运行平稳低噪。
A:适合在12-45℃的环境温度下运行。








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