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兆声波清洗器是全新研发的高频超声清洗系列产品,采用智能触控界面,支持多组用户程序设定,操作便捷且运行静谧。通过产生静态超声场,在清洗件表面形成极薄的声学边界层,利用兆赫频震荡使微细杂质脱落,实现超精密清洗。
该设备涵盖多种高频频段,凭借极低的空化效应,有效避免对精密元器件表面的腐蚀或损伤。广泛应用于半导体制造领域,除清洗外,还可辅助化学机械抛光、显影、除胶等关键工艺,是高精度工业清洗的理想选择。
✓ 智能触控交互:配备大尺寸TFT触摸屏,支持多组程序存储与直接调用,操作直观高效。
✓ 无损精密清洗:高频兆声技术极大降低空化效应,保护敏感元器件表面免受腐蚀与物理损伤。
✓ 高效能量转换:优化电路匹配设计,提高电功转换率,降低无功损耗,运行更节能稳定。
✓ 多重安全保护:具备数显超温、超压、超流保护指示及间歇脱气功能,确保实验与生产安全。
✓ 耐用防腐结构:采用不锈钢烤漆外壳,具备优异的耐腐蚀与抗氧化性能,适应严苛工业环境。
1. 高频兆声剥离技术:利用高频超声在液体中形成的速度梯度边界层,通过兆赫频震荡作用,精准剥离附着在器件表面的微米及亚微米级颗粒,实现传统超声难以达到的洁净度。
2. 智能化程序控制:内置高性能控制芯片,支持用户自定义并存储多组清洗参数。通过7英寸TFT触控屏即可一键调用预设方案,简化操作流程,提升批次处理的一致性。
3. 全方位安全防护体系:系统集成实时监测模块,当检测到温度、电压或电流异常时,立即通过数显界面发出保护指示并介入控制,防止设备过载,延长使用寿命。
4. 优化的能效管理系统:经过升级匹配的电路及器件,显著提升了电能到声能的转换效率,减少热量积累与能源浪费,同时配合间歇脱气功能,进一步优化清洗介质状态。
5. 工业级耐用设计:机身采用高品质不锈钢烤漆工艺,不仅外观整洁美观,更具备出色的耐化学腐蚀和抗氧化能力,标配不锈钢托架,方便取放清洗物件。
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 仪器尺寸 L*W*H(mm) | 500x500x325 |
| 槽内尺寸L*W*H(mm) | 400x400x150 |
| 容量(L) | 24 |
| 超声频率 (MHz) | 0.5/1.0/1.7 |
| 超声功率(W) | 500 |
| 加热功率(W) | 1000 |
适用领域:半导体制造、微电子加工、精密光学元件处理、科研院所实验室。
典型用途:晶圆超精密清洗、化学机械抛光(CMP)后清洗、光刻胶去除(除胶)、显影工艺辅助、金属剥离、刻蚀后清洗等对表面完整性要求极高的工艺环节。
标准配置:主机、不锈钢清洗槽、不锈钢托架、电源线、使用说明书。
工作原理:通过换能器将高频电能转换为机械振动,在清洗液中产生兆声波。这种高频波动在液体与固体界面形成极薄的声学边界层,利用剪切力将微小颗粒从基底表面移除,同时因频率高、波长短,避免了传统低频超声强烈的空化爆破对脆弱表面的损伤。
操作提示:使用前请确保清洗液液位适中,根据清洗物材质选择合适的频率档位(0.5/1.0/1.7MHz)。建议定期清理槽底沉淀物,并利用间歇脱气功能排除液体中的溶解气体,以达到最佳清洗效果。

A:该设备广泛应用于半导体制造、微电子加工、精密光学元件处理及科研院所实验室。典型用途包括晶圆超精密清洗、化学机械抛光(CMP)后清洗、光刻胶去除(除胶)、显影工艺辅助、金属剥离以及刻蚀后清洗等对表面完整性要求极高的工艺环节。
A:该仪器尺寸为 500x500x325 mm,槽内尺寸为 400x400x150 mm,容量为 24 L。其超声频率支持 0.5/1.0/1.7 MHz 多频段选择,超声功率为 500 W,加热功率为 1000 W。
A:使用前请确保清洗液液位适中,并根据清洗物材质通过7英寸TFT触控屏选择合适的频率档位(0.5/1.0/1.7MHz)。建议利用间歇脱气功能排除液体中的溶解气体,并可自定义存储多组清洗参数以便一键调用,从而简化操作流程并提升批次处理的一致性。
A:机身采用不锈钢烤漆外壳,具备耐腐蚀与抗氧化性能。维护时建议定期清理槽底沉淀物以保持清洁。设备具备数显超温、超压、超流保护指示,运行中若出现异常指示应及时检查。此外,标配不锈钢托架方便取放物件,使用后应保持设备干燥整洁。
A:系统集成实时监测模块,具备多重安全保护功能。当检测到温度、电压或电流异常时,设备会立即通过数显界面发出超温、超压、超流保护指示并介入控制,防止设备过载。同时配备间歇脱气功能,确保实验与生产过程中的安全性,延长设备使用寿命。








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