上海一恒真空干燥箱-电子半导体元件专用BPZ-6063B 是一款专为电子半导体元件生产工艺设计的高性能真空干燥设备,适用于锂离子电池、LED光电元件、晶振等产品的脱泡、脱水、硬化及洗净后的干燥处理。该设备在真空状态下实现高效热处理,确保工艺稳定性和产品一致性。
采用不锈钢内胆与长方形真空室结构,有效提升空间利用率并增强耐用性。配备弹性双层钢化玻璃门,便于实时观察工作状态,同时通过可调节密封系统保障箱体高真空度。支持程序控制(选配),可精确设定加热、真空保持和氮气保持时间,显著降低批次间差异。
✓ 高效真空干燥性能:达到真空度133Pa,满足电子元件精密干燥需求。
✓ 多型号适配选择:提供BPZ系列多种规格,BPZ-6063B适用于400×400×400mm内胆尺寸应用。
✓ 精准温控系统:控温范围RT+10~200℃,温度分辨率达0.1℃,波动度±1℃。
✓ 安全可靠设计:箱门闭合松紧可调,采用整体成型硅橡胶门封圈,确保密封性;增设超温保护温控口(选配)。
✓ 智能程序控制(选配):支持加热、真空与氮气保持时间编程,提升批次一致性。
1. 不锈钢内胆结构
工作室采用不锈钢板304(1Cr~18Ni9Ti)制成,耐腐蚀、易清洁,长期使用不变形,适用于洁净度要求高的电子生产环境。
2. 最大化空间利用
长方形真空室设计使有效容积最大化,充分提高装载效率,尤其适合批量处理电子元器件。
3. 可视化操作窗口
弹性双层钢化玻璃门设计,观察清晰无死角,便于监控干燥过程中的物料状态。
4. 高密封性门封系统
整体成型合成硅橡胶门封圈配合可调节闭合结构,确保长时间运行下的高真空稳定性。
5. 低噪声稳定真空系统
带“B”型号集成低噪声真空泵,真空控制更稳定可靠,减少环境干扰。
6. 可扩展智能控制功能
支持程序液晶控制器选配,实现多段工艺参数设定,优化干燥流程一致性。
| 型号 | 程序液晶控制器 | 程序液晶控制器 | ||||
| BPZ-6933B | BPZ-6503B | BPZ-6213 BPZ-6213B |
BPZ-6123 BPZ-6123B |
BPZ-6063 BPZ-6063B |
BPZ-6033 BPZ-6033B |
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| 电源电压 | AC380V 50HZ | AC220V 50HZ | ||||
| 输入功率 | 5600W | 3800W | 2100W | 2050W | 1800W | 1200W |
| 控温范围 | RT+10~200℃ | |||||
| 温度分辨率/波动度 | 0.1℃ /±1℃ | |||||
| 达到真空度 | 133Pa | |||||
| 真空表 | 真空表/机械指针式 | |||||
| 工作环境温度 | +5~40℃ | |||||
| 内胆尺寸 (mm)W×D×H |
750×1160×1050 | 630×810×845 | 540×575×635 | 500×500×500 | 400×400×400 | 320×320×320 |
| 外形尺寸 (mm)W×D×H |
1400×1395×2010 | 790×1030×1855 | 720×740×1530 | 660×640×1400 | 600×570×1390 | 550×490×1240 |
| 搁板 | 5块(独立控温) | 4块(独立控温) | 3块 | 3块 | 3块 | 2块 |
| 工作室材料 | 不锈钢304(1Cr~18Ni9Ti) | |||||
适用领域:锂离子电池制造、LED光电元件生产、晶振加工、半导体元件脱泡与脱水、电子器件硬化及清洗后干燥处理。
性能参数测试在空载条件下为:环境温度20℃,环境湿度50%RH。日常使用中应定期检查门封圈密封性,避免异物影响闭合;建议每6个月更换排气油污过滤装置以维持系统清洁;设备应置于通风良好、无腐蚀性气体的环境中运行。
| 型号 | BPZ-6933B | BPZ-6503B | BPZ-6213/B | BPZ-6123/B | BPZ-6063/B | BPZ-6033/B |
| 电源电压 | AC380V 50HZ | AC380V 50HZ | AC220V 50HZ | AC220V 50HZ | AC220V 50HZ | AC220V 50HZ |
| 输入功率 | 5600W | 3800W | 2100W | 2050W | 1800W | 1200W |
| 内胆尺寸 (mm) | 750×1160×1050 | 630×810×845 | 540×575×635 | 500×500×500 | 400×400×400 | 320×320×320 |
| 搁板数量 | 5块(独立控温) | 4块(独立控温) | 3块 | 3块 | 3块 | 2块 |
| 是否含真空泵 | 是 | 是 | 是/否 | 是/否 | 是/否 | 是/否 |
A:控温范围为RT+10~200℃。
A:达到真空度为133Pa。
A:内胆尺寸为400×400×400 mm(W×D×H)。
A:带“B”型号的设备均配备真空泵,如BPZ-6063B。
A:支持程序控制操作,可根据工艺需求设定加热、真空保持和氮气保持时间,此功能为选配项。








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