上海一恒真空干燥箱-电子半导体元件专用BPZ-6123 是专为电子半导体元件生产设计的高性能真空干燥设备,适用于锂离子电池、LED光电元件、晶振等产品的脱泡、脱水、硬化及洗净后的干燥处理。该系列产品在真空状态下实现高效热处理,保障工艺稳定性与产品一致性。
设备采用不锈钢内胆结构,耐腐蚀且易于清洁;长方形真空室设计最大化利用内部空间,配合弹性双层钢化玻璃门,可清晰观察工作室内运行状态。支持独立控温、抽真空与注氮气操作(多箱系列),并可选配程序控制功能,满足复杂工艺流程对温度和真空度的精确调控需求。
✓ 专用于电子半导体元件:适用于锂离子电池、LED光电元件、晶振等高精度电子元器件的真空干燥处理。
✓ 不锈钢内胆结构:工作室采用不锈钢板(1Cr~18Ni9Ti)制成,耐用性强,便于清洁维护。
✓ 多重安全与控制设计:箱门闭合松紧可调,配备整体成型合成硅橡胶门封圈,确保高真空度;可选超温保护温控口,提升安全性。
✓ 独立操作能力(多箱系列):每层箱体可独立加温、独立抽真空、独立注氮气,互不干扰,提高生产灵活性。
✓ 程序控制功能(选配):支持设定加热、真空保持和氮气保持时间,确保批次间烘烤一致性,降低差异性。
✓ 运行稳定低噪:带“B”型号集成低噪声真空泵,真空控制稳定可靠。
1. 不锈钢内胆设计
工作室由不锈钢板(1Cr~18Ni9Ti)制造,具备优异的抗腐蚀性能和长久使用寿命,同时表面光滑易清洁,适合洁净环境使用。
2. 高效空间利用
长方形真空室结构设计,在有限占地面积下提供最大有效容积,充分提升装载效率。
3. 可视化操作窗口
弹性双层钢化玻璃门设计,既能承受真空压力,又可全程清晰观察内部物体状态,便于监控工艺过程。
4. 密封性保障
整体成型的合成硅橡胶门封圈结合可调节箱门闭合结构,确保设备在长期运行中维持稳定的高真空度。
5. 模块化独立控制(多箱系列)
各层箱体支持独立加温、抽真空和注氮气操作,避免相互干扰,适应多样化生产工艺需求。
6. 真空与温控稳定性
配备机械指针式真空表,实时显示真空状态;控温范围为RT+10~200℃,温度分辨率达0.1℃,波动度±1℃,保证热处理精度。
| 型号 | 程序液晶控制器 | ||
| BPZ-6123 BPZ-6123B |
BPZ-6063 BPZ-6063B |
BPZ-6033 BPZ-6033B |
|
| 电源电压 | AC220V 50HZ | ||
| 输入功率 | 2050W | 1800W | 1200W |
| 控温范围 | RT+10~200℃ | ||
| 温度分辨率/波动度 | 0.1℃/±1℃ | ||
| 达到真空度 | 133Pa | ||
| 真空表 | 机械指针式 | ||
| 工作环境温度 | +5~40℃ | ||
| 内胆尺寸(mm)W×D×H | 500×500×500 | 400×400×400 | 320×320×320 |
| 外形尺寸(mm)W×D×H | 660×640×1400 | 600×570×1390 | 550×490×1240 |
| 搁板 | 3块 | 3块 | 2块 |
| 工作室材料 | 不锈钢(1Cr~18Ni9Ti) | ||
| 真空表 | 真空表 | ||
适用领域:锂离子电池制造、LED光电元件生产、晶振加工、电子元器件脱泡与脱水、半导体元件真空干燥、电子产品硬化处理及清洗后干燥等。
请在+5~40℃的工作环境中使用本设备;定期检查合成硅橡胶门封圈是否老化或破损,以确保密封性能;避免使用强酸碱清洁剂擦拭内胆,推荐使用中性清洁液进行日常维护;非专业人员不得擅自拆卸真空泵或电气部件。
| 型号 | 电源电压 | 输入功率 | 内胆尺寸(mm)W×D×H | 搁板数量 | 是否带真空泵(B型) |
|---|---|---|---|---|---|
| BPZ-6123 / BPZ-6123B | AC220V 50HZ | 2050W | 500×500×500 | 3块 | 是(B型) |
| BPZ-6063 / BPZ-6063B | AC220V 50HZ | 1800W | 400×400×400 | 3块 | 是(B型) |
| BPZ-6033 / BPZ-6033B | AC220V 50HZ | 1200W | 320×320×320 | 2块 | 是(B型) |
A:控温范围为RT+10~200℃,温度分辨率为0.1℃,温度波动度为±1℃。
A:支持程序控制功能(选配),可根据工艺需求设定加热、真空保持和氮气保持时间,确保批次烘烤一致性。
A:BPZ-6123B型号内置低噪声真空泵,而BPZ-6123不包含真空泵,其余参数相同。
A:广泛适用于锂离子电池、LED光电元件、晶振等电子半导体元件的脱泡、脱水、硬化及清洗后的真空干燥处理。
A:达到真空度为133Pa,配备机械指针式真空表进行实时监测。








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