上海一恒真空干燥箱-电子半导体元件专用BPZ-6213 是一款专为电子产品制造工艺设计的高性能真空干燥设备,适用于锂离子电池、LED光电元件、晶振等精密电子元器件生产过程中的脱泡、脱水、硬化及洗净后干燥处理。
该设备采用长方形真空室结构,最大化利用内部空间,配备不锈钢304(1Cr~18Ni9Ti)材质内胆,耐腐蚀且易于清洁。弹性双层钢化玻璃门设计,便于实时观察工作状态,配合可调节密封结构与合成硅橡胶门封圈,确保箱体维持133Pa高真空度。支持程序控制(选配),实现加热、真空保持与氮气保护时间的精准设定,保障批次间工艺一致性。
✓ 高效空间利用:长方形真空室设计,提升有效容积,充分满足多工件同时处理需求。
✓ 稳定真空性能:标配低噪声真空泵(带“B”型号),搭配机械指针式真空表,实现稳定可靠的真空控制。
✓ 安全可靠运行:设有超温保护温控口(选配),有效防止温度失控,提升使用安全性。
✓ 精准温控系统:控温范围为RT+10~200℃,温度分辨率达0.1℃,波动度±1℃,确保热处理精度。
✓ 灵活程序控制:可选配程序液晶控制器,按工艺需求设定多段运行参数,降低产品烘烤差异性。
1. 不锈钢内胆结构
工作室采用不锈钢板制成,具备优异的抗腐蚀性和耐用性,表面光滑易清洁,适合对洁净度要求高的电子元件干燥环境。
2. 可视化操作窗口
弹性双层钢化玻璃门设计,既保证密封性又提供清晰视野,方便用户在不破坏真空状态下观察样品状态。
3. 密封性能优化
整体成型的合成硅橡胶门封圈结合可调节闭合结构,确保长时间运行下仍能维持稳定的高真空环境。
4. 多档位搁板配置
根据不同型号配置2至5块搁板,其中部分型号支持独立控温,提升温度均匀性与负载适应能力。
5. 模块化扩展能力
支持选配惰性气体进气阀、液态水过滤器、干燥罐及排气油污过滤装置,满足多样化工艺需求。
| 型号 | 程序液晶控制器 | 程序液晶控制器 | ||||
| BPZ-6933B | BPZ-6503B | BPZ-6213 BPZ-6213B |
BPZ-6123 BPZ-6123B |
BPZ-6063 BPZ-6063B |
BPZ-6033 BPZ-6033B |
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| 电源电压 | AC380V 50HZ | AC220V 50HZ | ||||
| 输入功率 | 5600W | 3800W | 2100W | 2050W | 1800W | 1200W |
| 控温范围 | RT+10~200℃ | |||||
| 温度分辨率/波动度 | 0.1℃ /±1℃ | |||||
| 达到真空度 | 133Pa | |||||
| 真空表 | 真空表/机械指针式 | |||||
| 工作环境温度 | +5~40℃ | |||||
| 内胆尺寸 (mm)W×D×H | 750×1160×1050 | 630×810×845 | 540×575×635 | 500×500×500 | 400×400×400 | 320×320×320 |
| 外形尺寸 (mm)W×D×H | 1400×1395×2010 | 790×1030×1855 | 720×740×1530 | 660×640×1400 | 600×570×1390 | 550×490×1240 |
| 搁板 | 5块(独立控温) | 4块(独立控温) | 3块 | 3块 | 3块 | 2块 |
| 工作室材料 | 不锈钢304(1Cr~18Ni9Ti) | |||||
适用领域:锂离子电池制造、LED光电元件封装、晶振生产、半导体器件加工、电子元器件脱泡与干燥处理等。
性能参数测试在空载条件下为:环境温度20℃,环境湿度50%RH。建议定期更换排气油污过滤装置(建议6个月更换一次),以保障设备长期稳定运行。避免在高温状态下频繁开启箱门,防止热冲击影响密封件寿命。
| 型号 | BPZ-6933B | BPZ-6503B | BPZ-6213 / BPZ-6213B | BPZ-6123 / BPZ-6123B | BPZ-6063 / BPZ-6063B | BPZ-6033 / BPZ-6033B |
| 电源电压 | AC380V 50HZ | AC380V 50HZ | AC220V 50HZ | AC220V 50HZ | AC220V 50HZ | AC220V 50HZ |
| 输入功率 | 5600W | 3800W | 2100W | 2050W | 1800W | 1200W |
| 内胆尺寸 (mm) | 750×1160×1050 | 630×810×845 | 540×575×635 | 500×500×500 | 400×400×400 | 320×320×320 |
| 搁板数量 | 5块(独立控温) | 4块(独立控温) | 3块 | 3块 | 3块 | 2块 |
A:控温范围为RT+10~200℃。
A:达到真空度为133Pa。
A:带“B”型号的BPZ系列真空干燥箱配备真空泵。
A:工作室材料为不锈钢304(1Cr~18Ni9Ti)。
A:程序控制为选配功能,可根据工艺需求设定加热、真空保持和氮气保持时间。








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