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本产品是一款集光、机、电于一体的高精度扫描探针显微镜，采用一体化集成设计，结构紧凑，操作简便。系统将扫描探头与样品台高度集成，具备优异的抗干扰能力，适用于多种表面分析实验场景。
精密激光检测与探针定位装置使光斑调节更加简单，配合伺服马达实现手动或自动脉冲控制，驱动样品垂直接近探针，确保针尖始终垂直于样品表面进行扫描。配备高精度大范围压电陶瓷扫描器和样品移动装置，支持多模式工作与高分辨率成像，满足科研级应用需求。
✓ 光机电一体化设计：结构简洁，集成度高，提升系统稳定性与抗干扰能力。
✓ 高精度扫描控制：XY方向采用18-bit D/A控制，Z方向为16-bit D/A，结合DSP数字反馈，实现精准扫描。
✓ 多模式成像功能：支持接触、轻敲、相位、摩擦力、磁力及静电力等多种工作模式，适应多样化样品分析。
✓ 模块化电子系统：控制系统模块化设计，便于后期维护升级，并支持多种扫描模式电路集成。
✓ 强大软件功能：支持多通道图像同步采集、实时剖面查看、色板自定义、离线图像处理及多种曲线测量功能。
1. 精密探针定位与样品趋近机制
采用样品趋近探针方式，确保针尖垂直对准样品表面，避免倾斜误差。伺服马达通过手动或自动脉冲精确控制样品在Z轴方向的接近过程，实现安全、稳定的初始定位。
2. 高分辨率大范围扫描能力
横向最大扫描范围达50um，纵向为5um；横向分辨率达0.2nm，纵向达0.05nm，满足纳米尺度下的精细观测需求，适用于材料科学与生命科学领域。
3. 多通道图像与曲线测量功能
可同步采集表面形貌像、振幅像和相位像，并支持F-Z、f-RMS、RMS-Z等多种曲线测量，全面获取样品力学与物理特性信息。
4. 智能软件控制与图像处理
软件支持扫描区域偏移与剪切、激光光斑实时调整、针尖共振峰搜索、扫描器灵敏度校正等功能，并提供离线图像分析工具，提升数据处理效率。
5. 光学辅助对焦与放大系统
集成CCD对焦系统，由伺服马达控制光学对焦与10X光学放大，结合1μm光学分辨率，便于快速定位目标区域。
| 名 称 | 参 数 | 名 称 | 参 数 |
| 工作模式 | 接触、轻敲、相位、摩擦力、磁力或静电力 |
扫描角度 | 任意 |
| 样品尺寸 | Φ≤90mm，H≤20mm |
样品移动范围 | 0～20mm |
| 最大扫描范围 | 横向50um，纵向5um | 光学放大倍数 | 10X |
| 扫描分辨率 | 横向0.2nm，纵向0.05nm | 光学分辨率 | 1um |
| 扫描速率 | 0.6Hz~4.34Hz | 图像采样点 | 256×256，512×512 |
| 扫描控制 | XY采用18-bit D/A Z采用16-bit D/A |
反馈方式 | DSP数字反馈 |
| 数据采样 | 14-bit A/D、双16-bit A/D 多路同步采样 |
反馈采样速率 | 64.0KHz |
| 仪器重量体积 | 40KG，700´480´450mm | 计算机接口 | USB2.0 |
| 运行环境 | 运行于WindowsXP/7/8操作系统 | ||
适用领域：材料科学、纳米技术研究、生物医学工程、半导体检测、表面物理与化学分析等。
为保证设备长期稳定运行，请避免在强振动或电磁干扰环境中使用；定期检查激光对准状态与探针磨损情况；保持样品台清洁，防止粉尘影响扫描精度；使用完毕后应关闭电源并覆盖防尘罩。
A：支持接触、轻敲、相位、摩擦力、磁力或静电力等多种扫描工作模式。
A：最大扫描范围为横向50um，纵向5um；扫描分辨率为横向0.2nm，纵向0.05nm。
A：适用样品尺寸为直径Φ≤90mm，高度H≤20mm。
A：支持256×256和512×512两种图像采样点设置。
A：设备运行于WindowsXP/7/8操作系统。
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