产品特点

1. 光机电一体化设计，外形结构简单；

2. 扫描探头和样品台集成一体，抗干扰能力强；

3. 精密激光检测及探针定位装置，光斑调节简单，操作方便；

4. 采用样品趋近探针方式，使针尖垂直于样品扫描；

5. 伺服马达手动或自动脉冲控制，驱动样品垂直接近探针，实现扫描区域精确定位；

6. 高精度大范围的样品移动装置，可自由移动感兴趣的样品扫描区域；

7. 高精度大范围的压电陶瓷扫描器，根据不同精度和扫描范围要求选择；

8. 采用伺服马达控制CCD对焦和光学放大；

9. 模块化的电子控制系统设计，便于电路的持续改进与维护；

10. 集成多种扫描工作模式控制电路，配合软件系统使用。

软件特点

1. 可观测样品扫描时的表面形貌像、振幅像和相位像

2. 具备接触、轻敲、相位、摩擦力、磁力或静电力工作模式

3. 多通道图像同步采集显示，实时查看剖面图

4. 多种曲线力-间距（F-Z）、频率-RMS（f-RMS)、RMS-间隙（RMS-Z)测量功能

5. 可进行扫描区域偏移、剪切功能，任意选择感兴趣的样品区域

6. 激光光斑检测系统的实时调整功能

7. 针尖共振峰自动和手动搜索功能

8. 可任意定义扫描图像的色板功能

9. 支持样品倾斜线平均、偏置实时校正功能

10. 支持扫描器灵敏度校正和电子学控制器自动校正

11. 支持样品图片离线分析与处理功能

1. 可观测样品扫描时的表面形貌像、振幅像和相位像

2. 具备接触、轻敲、相位、摩擦力、磁力或静电力工作模式

3. 多通道图像同步采集显示，实时查看剖面图

4. 多种曲线力-间距（F-Z）、频率-RMS（f-RMS)、RMS-间隙（RMS-Z)测量功能

5. 可进行扫描区域偏移、剪切功能，任意选择感兴趣的样品区域

6. 激光光斑检测系统的实时调整功能

7. 针尖共振峰自动和手动搜索功能

8. 可任意定义扫描图像的色板功能

9. 支持样品倾斜线平均、偏置实时校正功能

10. 支持扫描器灵敏度校正和电子学控制器自动校正

11. 支持样品图片离线分析与处理功能

技术规格