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LEXT™ OLS5100 激光扫描显微镜是一款专为亚微米级3D形貌与表面粗糙度测量设计的高精度科学仪器。该系统集成了彩色成像与激光共焦光学技术，能够在无需样品制备的情况下实现非接触、无损且快速的三维表面分析，适用于从纳米级缺陷检测到宏观表面拼接的广泛应用场景。
凭借405 nm紫色激光光源、MEMS扫描振镜和4K扫描技术，OLS5100实现了高达0.12μm的横向分辨率和卓越的图像对比度。其搭载的智能实验管理助手（Smart Experiment Manager）和智能物镜选择助手（Smart Lens Advisor）显著简化了操作流程，提升了数据可靠性与实验效率，是材料科学、半导体、MEMS、生物医学等领域研究的理想工具。
✓ 高精度3D测量：采用405 nm激光与专用低像差物镜，实现0.12μm横向分辨率和1nm Sq噪声水平，确保亚微米级形貌精确还原。
✓ 智能化工作流程：智能实验管理助手自动创建实验计划并填充数据，减少人为错误，提升实验可追溯性与效率。
✓ 非接触无损检测：无需样品制备，避免接触式测量对表面造成损伤，适用于软质、易损或复杂结构样品。
✓ 多模式同步成像：支持彩色图像、激光共焦图像与3D形貌数据同步获取，并具备HDR、DIC等高级观察功能。
✓ 全球校准服务保障：设备在客户现场由专业工程师完成安装、调整与校准，提供可追溯的性能验证与测试结果保证。
1. 智能实验管理助手（Smart Experiment Manager）
通过自动化创建实验计划矩阵，将采集数据自动填充至电子表格中，极大减少手动输入带来的转录错误。用户只需定义评估条件，系统即可自动生成文件名并组织数据，便于后期检索与报告生成。
2. 智能物镜选择助手（Smart Lens Advisor）
在进行粗糙度测量前，输入视场要求等基本信息，系统将推荐最适合的物镜型号（如MPLAPON100XLEXT），避免因物镜选择不当导致重复实验，提高首次成功率。
3. 一键式自动校正功能
无需复杂设置，按下按钮即可完成噪声消除与基准面水平校正，保留真实表面细节的同时提升数据一致性，降低对操作者经验的依赖。
4. 宽视场高分辨率拼接
利用电动载物台内置长度测量模块，结合图案匹配算法，实现高达3600万像素的宽视场拼接图像，确保大范围测量的数据准确性与可重复性。
5. 多种数据采集与分析模式
支持面扫描、线扫描、薄膜厚度（多层/断层）、带宽扫描、超高清模式等多种采集方式；配备轮廓测量、差值分析、颗粒分析、多文件比较等功能，满足多样化科研需求。
| 激光波长 | 405 nm |
| 横向分辨率 | 0.12μm |
| Sq噪声（典型值） | 1nm（使用MPLAPON 100X LEXT物镜） |
| X-Y扫描系统 | X轴：电磁感应MEMS扫描振镜；Y轴：Galvano扫描振镜 |
| 扫描像素（X方向） | 4,096像素（4K扫描） |
| 数据采集速度 | 是传统激光显微镜的四倍 |
| 台阶测量时间 | 约10秒（100μm台阶，使用MPLAPON50XLEXT物镜） |
| 测量模式 | 面扫描、线扫描、薄膜厚度（多层/断层）、带宽扫描、跳跃扫描、超高清模式 |
| 分析功能 | 轮廓测量、差值测量、体积/面积测量、直方图分析、球体/圆柱体分析、自动边缘测量、颗粒分析、多文件分析 |
| 标准符合性 | ISO25178（面粗糙度）、ISO4287（线粗糙度） |
| 减振系统 | 混合式减振装置（螺旋弹簧+阻尼橡胶），仅适用于OLS5100-SMF/SAF |
| 拼接图像最大像素 | 3600万像素 |
| 校准样品 | X-Y校准标样 OLS50-CS-XY；Z校准标样 OLS50-CS-Z |
适用领域：材料科学研究、半导体制造、MEMS器件检测、生物医学工程、精密光学元件分析、金属加工质量控制、薄膜涂层研发、电子封装工艺优化、环境颗粒物分析等。
双光学系统配置
LEXT OLS5100配备两套独立光学系统：
高度测量原理
系统通过自动移动焦点位置获取多个共焦图像，构建每个像素的光强变化曲线（I-Z曲线），并确定其峰值位置以获得表面高度信息。所有像素的峰值位置组合形成完整的3D表面形貌图。
双共焦系统设计
配备不同针孔直径的两个共焦通道，根据所用物镜类型和数据采集模式自动切换，确保最优信噪比与成像质量。
实时宏观地图功能
载物台移动时，系统实时拼接图像生成全景宏观地图，帮助用户快速定位目标区域，并可在报告中关联局部放大图与整体位置。
连续自动对焦
在更换物镜或移动载物台过程中保持图像清晰，减少手动调焦需求，提升观察流畅性。
微分干涉观察（DIC）
支持激光DIC与彩色DIC模式，在低倍率下也能实现纳米级表面轮廓的实时成像，适用于观察电子显微镜级别的细微结构。
彩色高动态范围（HDR）观察
通过合成不同曝光下的多幅图像，增强低对比度或反光样品的细节可见性。
双模式观察
可同时显示激光图像与彩色图像，便于颜色差异评估、腐蚀区域识别及低对比度样品的精准聚焦。
为确保测量精度与系统稳定性，建议定期使用校准样品（OLS50-CS-XY 和 OLS50-CS-Z）进行设备状态检查。操作环境应避免强烈振动与温度剧烈波动。清洁镜头时请使用专用镜头纸与试剂，禁止直接用手接触光学表面。关闭智能判定功能前需确认是否影响数据真实性。
A：横向分辨率为0.12μm。
A：不需要。LEXT OLS5100为非接触式测量，无需样品制备，只需将样品放置在载物台上即可开始测量。
A：支持。系统符合ISO25178（面粗糙度）和ISO4287（线粗糙度）标准。
A：系统组件均来自严格生产体系，测量结果基于国家工业标准可追溯系统。设备在客户现场由工程师完成校准后签发证书，确保实际使用环境中的性能达标。
A：可以。通过拼接模式可获得高达3600万像素的宽视场精确数据，且拼接精度由长度测量模块保障。
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