仪景通(原奥林巴斯)3D激光扫描测量显微镜LEXT OLS5500

LEXT OLS5500 3D激光扫描测量显微镜 - 三维光学轮廓仪

无限表面，值得信赖的结果

屡获殊荣的 LEXT™ OLS5500 3D 光学轮廓仪将激光扫描显微镜 (LSM)、白光干涉测量 (WLI) 和焦点变化显微镜 (FVM) 结合在一个平台上，确保每个表面都能被清晰准确地测量。

用于精确表面测量的完整成像解决方案(来源：成贯仪器)

• LSM：对粗糙纹理、微观结构和陡坡具有高清的横向分辨率。
• WLI：纳米级垂直精度，适用于光滑或倾斜表面和薄膜。
• FVM：适用于需要更广泛上下文的大面积或不均匀区域，提供从宏观到微观的覆盖范围。

每种方法都与其他方法相辅相成，为每种表面提供合适的成像模式。在一个系统中，即可生成从纳米级到毫米级、从平坦到陡峭的各种表面的全面、真实的表面数据。

使用三种表面计量技术对射频封装进行成像。

精准成像

OLS5500 使您能够以高清晰度识别细微特征和表面变化——使用 LSM、WLI 和 FVM 来检测缺陷、确认设计并做出自信的决策。

每个表面都精准无误

无论您是处理倾斜度很大的样品、反射表面还是复杂的几何形状，我们自主研发的物镜都能在整个视野范围内保持清晰度和形状保真度。

左图：使用传统镜头时，边缘畸变增大，影响测量精度。

右图：使用 LEXT 镜头，边缘畸变得以消除，从而实现精确测量。

激光显微镜物镜

专用的 LEXT 物镜能够精确测量周边区域，克服了传统镜片在测量方面的挑战。

LEXT 物镜从左到右依次为：长工作距离（20X、50X、100X）、高性能（20X、50X、100X）和低倍率（10X）。

白光干涉物镜

高数值孔径白光物镜（最高可达 0.8 NA）即使在陡峭或纹理化的表面上也能产生清晰的干涉条纹和优异的相位稳定性。

使用传统 WLI 20X 物镜（左，NA 0.4）和 Evident 的 20X WLI 物镜（右，NA 0.6）拍摄的菲涅尔透镜样品对比图像。

使用传统 WLI 50X 物镜（左，NA 0.55）和 Evident 的 50X WLI 物镜（右，NA 0.8）拍摄的菲涅尔透镜样品对比图像。

使用传统 WLI 50X 物镜（左，NA 0.55）和 Evident 的 50X WLI 物镜（右，NA 0.8）拍摄的校准样品对比图像。

清晰视角

通过展现传统系统无法识别的关键特征，提高验证速度。从精细结构和细微形貌到透明表面和低对比度特征，OLS5500 提供多种对比度增强选项，以呈现隐藏或细微的细节。

• 采用高灵敏度传感器的 4K 成像技术可确保良好的对比度和色彩保真度。
• 激光DIC和彩色DIC技术能够以惊人的清晰度展现表面形貌和材料边界。
• 顶层检测滤波器可分离出真实表面，消除来自底层的干扰。

聚合物薄膜的对比图像。左图：未进行DIC处理的激光图像。右图：进行了DIC处理的激光图像。

硬盘着陆区的对比图像。左图：无DIC的彩色图像。右图：有DIC的彩色图像。

无缝大面积成像

检查更大区域——同时保持细节和图像完整性。智能阴影校正功能可大限度地减少伪影，并平衡拼接图像的照明，即使在低对比度或不平整的表面上也能确保无缝拼接的效果。这种边缘到边缘的清晰度有助于进行一致的分析。

晶圆拼接图像对比。左图：未进行智能阴影校正。右图：进行了智能阴影校正。

测量

准确、可靠的测量

减少了重复测试、返工和拒收——这得益于 LSM、WLI 和 FVM 中可验证和证明的可靠测量。

保证准确度和重复性(来源：成贯仪器)

OLS5500 是一台 3D 光学轮廓仪，可确保 LSM 和 WLI 测量的准确性和重复性*，从而在各种应用中获得一致、高精度的测量结果。

由 Evident 技术人员进行现场校准，可确保测量结果的精确性和可重复性，并带有时间戳记录，从而支持与国际计量标准的一致性。

您测量的每一个数值都会通过我们可追溯的校准流程进行验证，从而为您提供可在审计、报告和生产审查中得到验证的结果。

*基于Evident截至2025年10月的内部研究。所保证的准确度和重复性仅适用于已按照制造商规格进行校准且无缺陷的设备。校准必须由Evident技术人员或Evident授权的专家执行。

图示说明准确度和重复性之间的区别。

AIST标准示例

保证测量噪声

即使精确到纳米级，您的高度测量结果也值得信赖。OLS5500 保证测量噪声水平*符合 ISO 25178-700:2022 标准：

• 使用 MPLAPON 100X LEXT 物镜时精度为 1 nm。
• 使用 WLI 物镜时，波长为 0.08 nm。

这确保了即使是最细微的形貌变化，从薄膜到微图案表面，都能进行高分辨率检测。

您将收到一份噪声测量保证证书。该证书上的数值为根据 Evident 指定的测量条件测得的代表性数值，可能与保证数值有所不同。

保证拼接图像的准确性

OLS5500 在其电动平台上集成了长度测量模块，从而保证*拼接图像数据的精度。传统系统仅依赖于模式匹配，而 OLS5500 则将其与位置反馈相结合，为 LSM 和 WLI 提供高度可靠的拼接数据。

*拼接图像的保证精度仅适用于 100 毫米电动载物台。（OLS5500-SAF 可用于 LSM 和 WLI，而 OLS5500-EAF 仅适用于 LSM）。

长度测量模块

赋能型服务和支持

在保护您的投资和研究成果的完整性方面，您的需求始终是我们的首要任务。我们承诺提供及时的服务和技术支持，以帮助您实现目标，并以此为我们的产品提供保障。

凭借我们现场校准、全球服务网络和远程支持，以及在显微镜领域 100 多年的专业经验，确保合规性和系统正常运行时间。

更智能的工作流程

更智能的工作流程，最大化的吞吐量

OLS5500 的智能自动化和工作流程工具旨在让各级别用户都能更轻松快捷地进行表面分析。在 LSM、WLI 和 FVM 中，都能获得一致且一次性正确的结果，从而大限度地提高检测效率。

无缝观察

OLS5500 会在载物台移动时自动生成微距地图，跟踪并记录每个区域，方便轻松导航。凭借连续自动对焦功能，即使在移动过程中也能保持清晰对焦——无需手动重新对焦，也不会中断拍摄。

智能自动化，轻松实现精准操控

OLS5500 可自动执行关键测量流程，让您专注于分析，而不是调整。

使用 Smart Scan II for LSM，可以快速轻松地采集数据。只需将样品放在载物台上，按下启动按钮，系统就会自动完成剩余操作。

PEAK算法可在低倍到高倍放大范围内提供高精度数据，并缩短数据采集时间。在测量样品台阶形状时，可通过跳过Z方向不必要的扫描范围来减少数据采集时间。

VLSI 标准 83 nm 高度样品 (MPLFLN10LEXT)。

硅表面上的光刻胶图案。图片由京都大学纳米技术中心提供。

借助倾斜调整辅助功能，倾斜校正变得轻而易举。只需单击一下，软件即可指示使样品表面水平所需的精确调整量。只需按照此指南操作载物台即可。

智能判判器能够自动检测可靠数据，提供精确的测量结果，同时不会丢失细微的高度不规则数据。

左图：智能判罚关闭；右图：智能判罚开启。

OLS5500 直观的软件界面支持大规模、快速、可靠且可重复的测量，适合所有级别的用户使用。引导式工作流程简化了设置，并确保团队间操作的一致性。

值得信赖的稳定性

利用宏实现检测自动化——创建、编辑和运行程序，确保结果可靠。与智能实验管理器配合使用，只需单击一下即可做出通过/失败的判断。将报告保存为模板，简化重复测量，并确保不同分析和用户获得一致的结果。

PRECiV™ 软件集成可实现常规金相分析、AI 增强型工作流程和高级 2D 分析，支持专业应用和高通量生产环境。

测量速度提升，性能毫不妥协

OLS5500兼具速度和精度。其先进的白光干涉测量（WLI）模式与传统的激光扫描显微镜（LSM）相比，可将表面测量速度提升，且不会损失精度或可追溯性。

• 非常适合快速工艺验证、设计验证和生产抽样。
• 即使对于大型、复杂的样本，也能保持一致的精度。

样品：台阶高度 60 nm，测量区域：1,280 µm。
激光扫描显微镜 (LSM)：数据采集时间：630 s；使用 LSM 50X 物镜 (NA 0.95) 采集 6×6 拼接图像。
白光干涉 (WLI)：数据采集时间：15 s；使用 WLI 10X 物镜 (NA 0.3) 采集单幅图像。

更广阔的视野，更快的工作流程

节省对大型或复杂样品进行成像的时间。OLS5500 的高数值孔径 Mirau WLI 物镜扩大了可测量的视场，同时保持了垂直精度。

• 20倍物镜：覆盖范围比传统的50倍白光透镜宽6倍。
• 50倍物镜：覆盖范围比传统的100倍WLI镜头宽4倍。

每个区域的图像数量越少，图像拼接步骤就越少，从而在保持可追溯、高保真数据的同时提高了效率。

LEXT OLS5500 WLI 技术规格

*1 在符合 ISO554(1976) 和 JIS Z-8703(1983) 标准的恒温恒湿环境（温度：20 ℃ ±1 ℃，湿度：50% ± 10%）下使用时保证有效。
*2 10 倍或更高倍率时，使用专用 LEXT 物镜测量。
*3 使用专用 LEXT 物镜测量时。
*4 使用 MPLAPON100X LEXT 物镜测量时的典型值，可能与保证值有所不同。
*5 根据 Evident 认证体系保证有效。
*6 这是使用 83 nm 阶梯高度标准（可溯源至国家标准）在 Evident 规定的条件下测量的代表值，与保证值有所不同。保证值为 0.15+ L/100 μm。
*7 相当于测量噪声。

*8 在 Evident 规定的条件下验证。

LEXT OLS5500 应用软件

*1 包括自动拼接数据采集和多区域数据采集功能。

*2 包括轮廓分析、差异分析、台阶高度分析、表面分析、面积/体积分析、线粗糙度分析、面粗糙度分析和直方图分析。

LEXT OLS5500 物镜