上海一恒 BPZ-6060HV 高真空干燥箱

产品概述

上海一恒BPZ-6060HV高真空干燥箱是一款专为半导体晶圆处理、电子元件烘干及精密仪器制造设计的高端实验室设备。该设备能够在洁净无氧环境下运行，通过程序化控制实现自动抽真空、通氮气等复杂工艺流程，特别适用于光刻涂胶前的HMDS预处理及各类对真空度要求极高的干燥场景。

箱体采用316不锈钢工作室，具备优异的耐酸碱腐蚀性能，结合内胆加热技术，确保箱内无电子元器件污染，提升安全性与耐用性。配备智能触摸屏控制系统，操作直观便捷，是满足高标准生产工艺与科研实验的理想选择。

产品亮点/核心优势

功能特点详解

1. 自动化工艺程序控制：设备内置可编程控制器，用户可根据具体工艺需求，灵活设定加热温度、真空度阈值、通氮时间及循环次数。系统自动执行“抽真空-通氮气-再抽真空”等流程，有效降低人工操作误差，保证产品烘烤质量的均一性。

2. 卓越的密封与观察系统：箱门采用整体成型的合成硅橡胶门封圈，配合可调节的闭合松紧机构，确保在高真空状态下依然保持优异的气密性。弹性双层钢化玻璃门设计，不仅隔热性能好，更让操作人员能清晰、安全地观察工作室内的物体变化。

3. 高精度温控与监测：采用先进的微电脑PID控温技术，温度分辨率高，波动度小，确保工作室内温度分布均匀。同时配备电子式真空度显示，实时监控箱内压力状态，部分型号可选配超温保护温控口，防止温度失控，提供多重安全保障。

4. 通讯接口与远程监控：标准配置RS485通讯接口，支持连接外置软件系统。用户可以通过计算机实时查看设备运行曲线、当前参数及程序进度，实现远程监控与数据记录，便于实验室信息化管理与故障追溯。

5. 优化空间结构设计：长方形真空室设计最大化利用了有效容积，适合放置较大尺寸或较多数量的样品。内部搁板位置可调，适应不同规格样品的摆放需求，结合低噪声专业真空泵，为实验室提供安静、高效的工作环境。

技术规格参数

※性能参数测试在空载条件下为：环境温度20℃，环境湿度50%RH
注：外壳可定制为304不锈钢材质

应用领域/适用场景

适用领域：广泛应用于半导体制造、电子元器件生产、医疗卫生、仪器仪表、大专院校及科研院所。

典型用途：半导体晶圆HMDS预处理、光刻涂胶工艺、无氧化干燥、高真空环境下的高温烘烤、易氧化材料的脱水处理、精密部件的洁净干燥。

产品细节/结构说明

标准配置：主机含316不锈钢工作室、双层钢化玻璃门、2块可调节搁板、智能触摸屏控制器、RS485通讯接口、专业真空泵系统。

工作原理：通过真空泵抽取箱内空气形成高真空环境，降低水的沸点，使物料中的水分或溶剂在低温下快速蒸发；同时可通过程序控制注入氮气，打破真空后再次抽取，以置换箱内残留氧气，实现无氧化干燥。

操作提示：使用前请检查门封圈是否完好，确保箱门闭合紧密；根据样品特性设定合适的升温速率与真空度，避免样品飞溅；定期清洁工作室与门封圈，维持设备最佳性能。