上海一恒 BPZ-6090MS HMDS真空干燥箱

产品概述

上海一恒BPZ-6090MS HMDS真空干燥箱是专为半导体晶圆在进行HMDS预处理工艺中的干燥需求而研发的高端实验室设备。该设备通过先进的程序控制系统，能够自动完成抽真空、通氮气、再抽真空等复杂工艺流程，完美适配光刻过程中的涂胶前处理环节。

设备可在洁净环境下稳定运行，满足无尘生产工艺的高标准要求。其独特的长方形真空室设计不仅有效利用了空间，还结合了316不锈钢工作室与内胆加热技术，确保了无氧化、耐腐蚀的干燥环境，广泛应用于半导体、电子、医疗卫生及仪器仪表等领域的精密干燥工艺。

产品亮点/核心优势

功能特点详解

1. 智能化人机交互界面：采用智能触摸屏控制系统，用户可直接设定温度、真空度及时间等关键参数。菜单式操作逻辑简洁直观，极大降低了操作难度与维护成本，提升了实验效率。

2. 自动化HMDS工艺流程：设备内置专用程序控制逻辑，可根据特定工艺需求，自动执行加热、真空度调节、通氮气及定时控制等步骤。这种自动化流程有效消除了人为操作误差，保证了半导体晶圆处理的高精度与重复性。

3. 卓越的结构与密封性能：长方形真空室设计提供了更大的有效容积，充分利用实验室空间。箱门闭合松紧可调，配合高品质硅橡胶密封圈，在长期高真空环境下仍能保持优异的密封效果，防止外界气体渗入。

4. 多重安全防护机制：除了常规的温控系统外，设备还可选配超温保护温控口，作为独立的安全冗余，有效防止因温度失控导致的安全事故。低噪声专业真空泵的配置，进一步保证了真空控制的稳定性与环境的安静。

5. 洁净无污染的工作环境：通过将加热元件置于内胆内部，避免了传统外加热可能带来的热辐射不均及电子元件老化污染问题。结合316不锈钢内壁，确保在严苛的化学环境中也能保持极高的洁净度，满足半导体级生产要求。

技术规格参数

应用领域/适用场景

适用领域：半导体制造、微电子封装、精密电子元件生产、医疗卫生器械处理、高精度仪器仪表制造。

典型用途：半导体晶圆HMDS预处理（增粘处理）、光刻工艺前的涂胶干燥、无氧化环境下的材料烘干、洁净室环境中的高真空脱水工艺、对耐腐蚀性有极高要求的化学样品干燥。

产品细节/结构说明

标准配置：主机含智能触摸屏控制器、316不锈钢内胆工作室、2块不锈钢搁板、整体成型硅橡胶门封圈、弹性双层钢化玻璃观察窗、低噪声专业真空泵组、485通讯接口。

工作原理：设备通过内胆加热元件对工作室进行均匀加热，同时由真空泵抽取箱内空气以达到设定的真空度。在HMDS模式下，系统依据预设程序自动切换真空与氮气环境，利用高温与高真空条件去除晶圆表面水分并增强光刻胶附着力。

操作提示：使用前请检查门封圈是否完好以确保真空度；建议定期清洁316不锈钢内壁以维持洁净度；若需定制外壳材质（如304不锈钢）或选配超温保护装置，请在采购时注明；性能参数测试通常在空载、环境温度20℃、湿度50%RH条件下进行。