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加野Kanomax 超小型粒子计数器3950-00 是一款专为高精度洁净环境监测设计的尘埃粒子计数器,采用光散射法实现对微小粒子的高效检测。该设备以极致轻巧的结构著称,适用于半导体制造等精密装置中的嵌入式安装,满足高端工业对空间与性能的双重严苛要求。
本产品支持同时测量0.1μm和0.3μm两个粒径通道,额定流量为2.83L/分,具备高精度与高稳定性。配备4.3英寸彩色触摸显示屏,操作直观便捷,并可通过USB、Ethernet及RS-485接口实现多模式数据传输,支持在PC端使用专用软件实时监控测试数据。
✓ 超小型轻量化设计:体积紧凑、重量仅3.4kg,可轻松集成于半导体生产设备中。
✓ 双粒径同步检测:同时测试0.1、0.3μm粒子,提升监测效率与准确性。
✓ 多种通信接口:标配USB、Ethernet、RS-485,支持灵活连接打印机、存储设备或PC系统。
✓ 高效数据管理:内置内存可存储最大10,000个数据点,格式为CSV,便于导出分析。
✓ 符合国际标准:符合JIS B9921和ISO21501-4标准,确保测量结果权威可靠。
1. 光散射法粒子检测技术
采用先进的光散射原理进行粒子识别,响应快速且稳定,适用于洁净室、无尘车间等对空气质量要求极高的场景。
2. 灵活的测量模式设置
支持重复、单次、连续和计算四种测量方式,用户可根据实际需求设定测量时间(6秒~99分59秒)与间隔周期,适应多样化的采样任务。
3. 强大的数据显示与存储能力
测量数据可显示累计值∑、差分值△及柱形图,直观反映粒子浓度变化趋势;所有数据以CSV格式保存至内部存储器,最多可记录10,000条记录。
4. 内置泵气源系统
设备自带内置泵,无需外接抽气装置,简化现场部署流程,提高使用便利性。
5. 宽电压电源适配
支持AC100~240V供电,适用于全球不同地区的电力环境,保障设备在各种工况下稳定运行。
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 品 名 | 尘埃粒子计数器 |
| 型 号 | 3950-00 |
| 测试方法 | 光散射法 |
| 粒径通道 | 2粒径(0.1、0.3μm) |
| 额定流量 | 0.1CFM(2.83L/分)、精度±5%、(符合JIS B9921和ISO21501-4) |
| 测量时间 | 6秒~99分59秒(1次测量时间) |
| 间隔时间 | 6秒~99分59秒(测量周期) |
| 采样次数 | 1~999次 或 连续测试 |
| 地点设定 | 99个地点 |
| 测量方式 | 重复、单次、连续、计算 |
| 测量数据显示时间 | 1~10秒 |
| 测量数据显示 | 累计值∑ 差分值△及柱形图 |
| 最大可测浓度 | 10,000,000个/m3 |
| 计数效率 | 50±20%(相对于最小可测粒径附近的PSL粒子) 100±10%(相对于最小可测粒径的1.5倍~2倍的PSL粒子) (符合JIS B9921 和 ISO21501-4) |
| 伪 计 数 | <1个/35min |
| 粒径分辨率 | 15%以下(相对0.3μm的PSL粒子) (符合JIS B9921 和 ISO21501-4) |
| 气 源 | 内置泵 |
| 显示器 | 4.3英寸彩色液晶 触摸屏 |
| 通迅功能 | USB(Host用于打印机、USB存储;Device用于与PC链接) Ethernet、RS485(9600、19200、38400 baud) |
| 数据存储 - 媒体 | 内存 |
| 数据存储 - 数量、格式 | 最大10,000个、CSV格式 |
| 显示语言 | 英文、日语 |
| 电 源 | AC100~240V |
| 使用环境 | 15~35℃、0~85%RH (无结露) |
| 外形尺寸 | W150 X H163 X D228 mm |
| 重 量 | 3.4kg |
适用领域:半导体制造、洁净室监控、生物制药、医疗设备生产、食品加工环境检测、科研实验室等对空气中微粒浓度有严格控制要求的场合。
A:该设备支持2粒径通道,可同时测量0.1μm和0.3μm的微小粒子。
A:最大可测浓度为10,000,000个/m3,适用于高浓度环境下的粒子监测。
A:支持。设备配有USB Device接口,可用于与PC连接,并可通过附带软件在PC上显示和管理测试数据。
A:额定流量为0.1CFM(即2.83L/分),精度为±5%,符合JIS B9921和ISO21501-4标准。
A:使用环境要求为温度15~35℃、湿度0~85%RH(无结露)。








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