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LEXT OLS4500是一款集成了激光显微镜和探针扫描显微镜(SPM)功能于一体的新型纳米检测显微镜,能够实现从50倍到100万倍的超大范围观察与测量。该设备融合了光学显微镜、激光显微镜与SPM三种技术于一体,构成一体化设计,无需重新放置样品即可在不同观测模式间自由切换,显著提升工作效率。
LEXT OLS4500充分发挥奥林巴斯先进的光学技术优势,配备白色LED光源与高动态范围(HDR)功能,可呈现色彩真实、细节丰富的高分辨率彩色影像。同时搭载短波长405 nm激光光源和高N.A.专用物镜,具备优异的平面分辨率,能够清晰呈现光学显微镜难以观测的微小结构。电动物镜转换器集成4种物镜及小型SPM测头,支持从低倍至高倍的无缝倍率切换与多模式观察,确保目标始终锁定,不丢失观察对象。
✓ 一体化三合一显微系统:集成光学显微镜、激光显微镜与探针扫描显微镜(SPM),无需更换设备或重新定位样品即可完成多种观测。
✓ 超大倍率范围:支持从50倍到100万倍的连续观察,覆盖宏观发现到纳米级精细分析全过程。
✓ 多种观察方法快速定位:支持明视场(BF)、微分干涉(DIC)、简易偏振光、HDR等多种光学观察模式,迅速锁定目标区域。
✓ 纳米级高精度测量:采用新开发的小型SPM测头,同轴共焦配置,减少图像畸变,提高追踪性与测量重复性。
✓ 激光扫描实现尖锐角测量:配备专用高N.A.物镜与405 nm激光系统,可精确测量高达85°的尖锐角度样品。
✓ 符合ISO标准的粗糙度分析:支持线粗糙度与面粗糙度测量,兼容ISO 25178-6标准,提供全面的3D表面形貌参数分析。
1. 多模式光学观察快速定位目标
LEXT OLS4500配备白色LED光源,支持高分辨率彩色成像,并提供多种观察方式:明视场(BF)用于常规颜色还原观察;微分干涉(DIC)增强微小凹凸的立体感;简易偏振光观察揭示材料偏光特性;HDR功能通过多曝光合成优化亮暗对比,突出纹理细节。这些方法协同工作,帮助用户快速准确地找到待测区域。
2. 激光显微镜提升微结构分辨能力
采用405 nm短波长激光与高数值孔径(N.A.)专用物镜,实现0.12μm的平面分辨率,能清晰显示传统光学显微镜无法分辨的细微结构。在激光微分干涉(DIC)模式下,还可实时观察纳米级微小高低差,适用于硬盘、晶圆等精密表面检测。
3. SPM无缝对接实现纳米级精准测量
电动物镜转换器上集成小型SPM单元,物镜与微悬臂前端同轴共焦配置,切换至SPM模式时不会丢失目标点。配合向导式操作界面,即使是经验较少的操作者也能轻松完成安装微悬臂、设定扫描范围等步骤,仅需一次扫描即可获取高质量SPM图像,降低探针损耗并提高效率。
4. 强大的拼接与放大功能扩展观测视野
设备支持最多拼接625幅图像,生成高分辨率的大范围3D视图,便于在广域中精确定位目标区域。同时可通过鼠标框选局部区域进行自由放大扫描,灵活设置SPM测量范围,大幅提升复杂样品的分析效率。
5. 全面的表面形貌与粗糙度分析能力
支持截面形状分析(如曲率、夹角)、粗糙度分析、形态分析(面积、体积、高度等)、粒子分析(选配)以及评价高度测量。提供符合ISO标准的多种参数输出,包括R系列、P系列、W系列及3D参数(Sq, Sa, Sk等),满足工业研发与质量控制需求。
6. 多种SPM测量模式适应多样化样品
内置6种SPM测量模式:接触模式适用于硬质薄膜表面形貌测量;动态模式适合高分子、粘性样品;相位模式反映表面物性差异;电流模式检测导电性分布并支持I/V测量;KFM(表面电位模式)分析表面电位分布;MFM(磁力模式)获取磁记录介质的磁力信息,广泛应用于半导体、磁存储等领域。
| 倍率范围 | 50倍到100万倍 |
| 激光光源波长 | 405 nm |
| 平面分辨率 | 0.12μm |
| 高度分辨率 | 10nm |
| 物镜数量 | 4种(涵盖低倍到高倍) |
| SPM测头类型 | 物镜型SPM测头(同轴共焦配置) |
| 最大拼接图像数 | 625幅 |
| 向导功能放大示例 | 在10μm×10μm影像上放大3.5μm×3.5μm范围 |
| 支持的SPM测量模式 | 接触模式、动态模式、相位模式、电流模式、表面电位模式(KFM)、磁力模式(MFM) |
| 粗糙度参数兼容标准 | ISO 25178-6 |
适用领域:半导体制造、硬盘与磁记录材料检测、金属加工表面分析、高分子材料研究、生物医学材料表征、精密模具检测、电子元器件质量控制、科研实验室纳米尺度测量等。
光学显微镜原理与特长:
光学显微镜从样品上方照射可见光(波长约400 nm到800 nm),利用其反射光成像,可将样品放大数十倍至一千倍左右进行观察。其特长在于可真实还原彩色样品,并可通过切换观察方法强调表面凹凸或物质偏光性。
支持的观察方法包括:
• 明视场观察:基本的观察方法,通过样品的反射光成像进行观察
• 微分干涉观察:给样品表面的微小凹凸添加明暗对比,形成立体可视影像
• 简易偏振光观察:照射偏振光,使样品的偏光性变为可视影像
激光显微镜优势:
采用405 nm短波长激光和更高数值孔径的物镜,达到0.12μm平面分辨率,可对亚微米至数百微米范围内的高度差进行分辨。结合高精度光栅读取与亮度检测技术,保证“正确性”与“重复性”两大关键指标。
SPM测量模式说明:
接触模式:控制微悬臂与样品间排斥力恒定,静态扫描呈现样品高度,可用于弯曲测量。
动态模式:使微悬臂在共振频率附近振动,控制Z方向距离保持振幅恒定,适用于柔软或粘性样品。
相位模式:检测微悬臂振动的相位延迟,呈现表面物性差异。
电流模式:施加偏置电压,检测微悬臂与样品间的电流,输出导电性分布图像,并支持I/V测量。
表面电位模式(KFM):使用导电性微悬臂施加交流电压,检测静电作用,呈现表面电位分布。
磁力模式(MFM):使用磁化微悬臂,在相位模式下检测磁力信息,用于磁记录介质分析。

A:LEXT OLS4500可实现从50倍到100万倍的超大范围观察和测量。
A:是的,LEXT OLS4500支持非接触式面粗糙度测量,并符合ISO 25178-6标准,提供多种3D粗糙度参数分析。
A:设备采用物镜型SPM测头,同轴共焦配置,且SPM扫描范围始终显示于视场中心,切换后无需重新定位即可直接扫描。
A:支持明视场(BF)、微分干涉(DIC)、简易偏振光观察和HDR(高动态范围)四种主要光学观察方法。
A:可以,LEXT OLS4500采用高N.A.专用物镜和405 nm激光系统,能够轻松检测高达85°的尖锐角样品。








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